[发明专利]一种光纤法珀声压加速度复合传感器及加工方法在审
| 申请号： | 201610392851.4 | 申请日： | 2016-05-25 |
| 公开（公告）号： | CN106645796A | 公开（公告）日： | 2017-05-10 |
| 发明（设计）人： | 金鹏;刘彬;撖琳;林杰;王兴 | 申请（专利权）人： | 哈尔滨工业大学 |
| 主分类号： | G01P15/03 | 分类号： | G01P15/03 |
| 代理公司： | 暂无信息 | 代理人： | 暂无信息 |
| 地址： | 150001 黑龙*** | 国省代码： | 黑龙江;23 |
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| 摘要： | 本发明光纤法珀声压加速度复合传感器及加工方法属于传感器技术领域；该传感器包括声压薄膜支撑结构，设置在声压薄膜支撑结构顶部的声压薄膜，质量块支撑结构，设置在质量块支撑结构顶部的质量块，连接声压薄膜支撑结构和质量块的连接结构，在声压薄膜支撑结构侧面对向插入第一光纤和第二光纤，第一光纤与声压薄膜构成光纤法珀声压传感器，第二光纤与质量块构成光纤法珀加速度传感器；本发明不仅能够使传感器贴合于被测物表面使用，而且将声压传感器与加速度传感器集成在一起，声压信号能够作为准确的噪声补偿，对加速度信号加以自动校正，对于加速度信号而言，可以实现在不需要增加信号处理设备的同时，使加速度测量的精度提高一个数量级。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 光纤 声压 加速度 复合 传感器 加工 方法 | ||
【主权项】：
一种光纤法珀声压加速度复合传感器，其特征在于，包括一个声压薄膜支撑结构(1)，设置在声压薄膜支撑结构(1)顶部的声压薄膜(2)，一个质量块支撑结构(3)，设置在质量块支撑结构(3)顶部的质量块(4)，所述声压薄膜支撑结构(1)和质量块(4)通过连接结构(5)连接，在声压薄膜支撑结构(1)侧面对向插入第一光纤(6)和第二光纤(7)，所述第一光纤(6)和第二光纤(7)紧贴声压薄膜支撑结构(1)底部；第一光纤(6)和第二光纤(7)相对的两个端面中至少有一个研抛成45°，45°研抛端面上镀有反射膜；第一光纤(6)中传播的光束在45°研抛端面上反射，照射在声压薄膜(2)上，第一光纤(6)与声压薄膜(2)构成光纤法珀声压传感器；第二光纤(7)中传播的光束在45°研抛端面上反射，经声压薄膜支撑结构(1)底部的通孔照射在质量块(4)上，第二光纤(7)与质量块(4)构成光纤法珀加速度传感器。
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