[发明专利]一种基于复合衬底的石墨烯光电探测器

摘要

本发明公开了一种基于复合衬底的石墨烯光电探测器，源极和漏极连接外部电源，单层石墨烯电子传输层设置在绝缘介质层之上；绝缘介质层下方设置栅电极层；所述漏极和栅电极层通过栅电源连接；所述栅电极层采用电导率为1‑10Ωcm的轻掺杂硅。该探测器在光功率<1nW的情况下，响应度可达1000A W^‑1，且响应时间短至400ns，响应波长为400‑1200nm。该探测器可实现在弱光信号下的快速光电响应，成功地填补了石墨烯光电器件在超高速与超灵敏度响应二者之间的空白，且与现今成熟的硅工艺完全兼容，在高速弱光探测领域将拥有巨大的前景。

主权项

一种基于复合衬底的石墨烯光电探测器，其特征在于，源极和漏极连接外部电源，单层石墨烯电子传输层设置在绝缘介质层之上；绝缘介质层下方设置栅电极层；所述漏极和栅电极层通过栅电源连接；所述栅电极层采用电导率为1‑10Ωcm的轻掺杂硅。