[发明专利]一种硅料碱腐工艺及其碱腐工装

摘要

一种硅料碱腐工艺包括如下步骤：1、加温碱腐，2、中和脱碱，3、漂洗，4、挑选打磨。碱腐工装包括工装壳体，工装壳体顶部连接有排气管，排气管上安装有吸气泵，工装壳体上设有开关门，开关门顶部设有铰链，开关门通过铰链与工装壳体实现活动链接，开关门上设有观察窗，观察窗包括第一观察窗、第二观察窗和第三观察窗，观察窗底部设有通气孔和把手，工装壳体内部设有碱腐工作台，碱腐工作台上设有碱腐槽、中和槽以及漂洗槽，碱腐槽底部设有加热器，加热器位于工作台内部。通过设计新型的硅料碱腐槽设备，将原有回收硅料表面杂质群较难处理的硅料进行化学处理，从而达到生产要求。

主权项

1.一种硅料碱腐工艺，其特征在于，包括如下步骤：A.加温碱腐，将需碱腐硅料放入浸泡篮中，将浸泡篮放置在碱腐工装内的碱腐槽内，在碱腐槽内注入碱溶液，碱溶液浸没待碱腐的硅料即可，对碱溶液进行加热，加热温度控制在90℃‑100℃，加热时间为150Min；B.中和脱碱，将装有碱腐加热后硅料的浸泡篮放置于碱腐工装的中和槽内，中和槽内有摩尔浓度为47‑49％的氢氟酸溶液，将硅料浸没在氢氟酸溶液1‑2s即可；C.漂洗，将装有中和脱碱好的硅料的浸泡篮放置碱腐工装的漂洗槽内，漂洗槽内有纯水，将硅料浸没在纯水中进行漂洗脱酸，浸泡时间为1‑2h；D.挑选打磨，漂洗后硅料内的杂质群浮出表面，挑选杂质群较多的硅片进行打磨，将杂质群打磨掉即可；所述碱腐工装包括工装壳体，所述工装壳体底部呈方形筒体，顶部呈四方形棱台结构，所述工装壳体顶部中间位置连接有排气管，所述排气管上安装有吸气泵，所述工装壳体上设有开关门，所述开关门呈方形结构，所述开关门顶部设有铰链，所述开关门通过铰链与所述工装壳体实现活动链接，所述开关门上设有观察窗，所述观察窗呈方形结构，所述观察窗包括第一观察窗、第二观察窗和第三观察窗，所述观察窗底部设有通气孔和把手，所述工装壳体内部设有碱腐工作台，所述碱腐工作台上设有碱腐槽、中和槽以及漂洗槽，所述碱腐槽、中和槽及漂洗槽均呈方形凹槽结构，所述碱腐槽宽度L1＞漂洗槽宽度L2＞中和槽宽度L3；所述中和槽位于工作台中间位置，所述碱腐槽与所述漂洗槽分设工作台两端，所述碱腐槽底部设有加热器，所述加热器位于所述工作台内部，所述第一观察窗位于所述碱腐槽上方位置，所述第二观察窗位于所述中和槽上方，所述第三观察窗位于所述漂洗槽上方。