[发明专利]光栅尺可靠性试验装置及方法

摘要

本发明涉及一种光栅尺可靠性试验装置及方法，克服了目前光栅尺可靠性试验装置和检测系统不能够模拟实际工况的问题，试验装置由模拟工况装置、光栅尺安装装置和检测控制系统组成；模拟工况装置包括温湿度试验箱、光栅尺驱动系统、振动加载台、油雾控制站；光栅尺安装装置包括光栅尺安装平台、开放式及封闭式光栅尺主尺、开放式及封闭式光栅尺读数头；检测控制系统包括激光干涉仪、光栅尺检测仪和控制柜；试验方法包括以下步骤1、性能参数输入工控机软件；2、安装受试光栅尺；3、进行温度和湿度模拟加载、振动加载、供电电压变化、油雾对光栅尺可靠性影响试验；4、检测受试光栅尺精度；5、分析记录试验数据。

主权项

一种光栅尺可靠性试验装置，由模拟工况装置、光栅尺安装装置以及检测控制系统组成；其特征在于：所述的模拟工况装置包括温湿度试验箱(1)、光栅尺驱动系统(2)、设有振动加载台控制器的振动加载台(3)、均设置于温湿度试验箱(1)外部的光栅尺电源(5)、油雾控制站(8)；所述振动加载台(3)安装在温湿度试验箱(1)中的下层空间；所述的光栅尺驱动系统(2)置于温湿度试验箱(1)中，并放置于振动加载台(3)的上端面；所述的光栅尺安装装置包括光栅尺安装平台(35)、光栅尺读数头安装支架(14)、读数头支架调节旋钮(30)、开放式光栅尺主尺安装板(15)、开放式光栅尺主尺(27)、开放式光栅尺读数头固定支架(28)、开放式光栅尺读数头(29)、封闭式光栅尺主尺安装板(31)、封闭式光栅尺主尺(13)、封闭式光栅尺读数头固定支架(34)、封闭式光栅尺读数头(33)；开放式光栅尺主尺(27)使用开放式光栅尺主尺安装卡具(32)安装于开放式光栅尺主尺安装板(15)上，开放式光栅尺主尺安装板(15)固定在光栅尺安装平台(35)上；开放式光栅尺读数头(29)安装于开放式光栅尺读数头固定支架(28)上，光栅尺读数头固定支架(28)通过读数头支架调节旋钮(30)固定在光栅尺读数头安装支架(14)上；封闭式光栅尺主尺(13)安装于封闭式光栅尺主尺安装板(31)上，封闭式光栅尺主尺安装板(31)固定在光栅尺安装平台(15)上；封闭式光栅尺读数头(33)安装于封闭式光栅尺读数头固定支架(34)，封闭式光栅尺读数头固定支架(34)通过读数头支架调节旋钮(30)固定在光栅尺读数头安装支架(14)上；所述的检测控制系统包括激光干涉仪(4)、光栅尺检测仪(6)和控制柜(7)；所述激光干涉仪(4)位于温湿度试验箱(1)外部，激光干涉仪的激光束方向与受试光栅尺往复运动方向在同一直线上；控制柜(7)中包含有工控机、可编程控制器、温湿度试验箱控制器、振动加载台控制器、伺服驱动器和油雾控制器；所述光栅尺检测仪(6)读取光栅尺的读数信号，将读数信号传送到工控机中；所述的工控机将试验的实时状态通过显示器反馈给使用者，工控机发送指令控制可编程控制器，实现对振动加载台控制器、伺服驱动器、温湿度试验箱控制器、油雾控制器、光栅尺电源的控制。