[发明专利]一种具有补偿线圈的磁电阻传感器有效
| 申请号： | 201610397752.5 | 申请日： | 2016-06-07 |
| 公开（公告）号： | CN107479010B | 公开（公告）日： | 2019-06-04 |
| 发明（设计）人： | 詹姆斯·G·迪克 | 申请（专利权）人： | 江苏多维科技有限公司 |
| 主分类号： | G01R33/09 | 分类号： | G01R33/09 |
| 代理公司： | 广州三环专利商标代理有限公司 44202 | 代理人： | 郝传鑫 |
| 地址： | 215634 江苏*** | 国省代码： | 江苏;32 |
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| 摘要： | 本发明提出了一种具有补偿线圈的磁电阻传感器，包括硅基片、以及设置在硅基片上的MR传感器单元串、矩形软铁磁磁通集中器、蛇形补偿线圈、连接电路和焊盘，MR传感器单元串互连接成推挽式传感器电桥，MR传感器单元串设置在相邻两个软铁磁磁通集中器之间间隙的下方，蛇形补偿线圈具有通过MR传感器单元串的正极电流带和通过矩形软铁磁磁通集中器的负极电流带，焊盘将传感器桥臂和蛇形补偿线圈连接到封装结构。该传感器还包括螺旋初始化线圈，该线圈放置在封装衬底上，传感器芯片放置在初始化线圈上，用于减少磁滞。本发明磁电阻传感器尺寸更小，成本更低，提高了传感器动态范围、线性度，减少磁滞，使得在闭环模式下运行磁场传感器变得更加容易。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 具有 补偿 线圈 磁电 传感器 | ||
【主权项】：
1.一种具有补偿线圈的磁电阻传感器，其特征在于：包括硅基片，以及设置在硅基片上的MR传感器单元串、矩形软铁磁磁通集中器、蛇形补偿线圈、连接电路和焊盘；所述的MR传感器单元串互连接成推挽式传感器电桥，所述的MR传感器单元串设置在相邻两个所述的软铁磁磁通集中器之间间隙的下方，所述的蛇形补偿线圈设置在所述的MR传感器单元串的上方、且在相邻两个所述的软铁磁磁通集中器之间间隙的下方，所述的蛇形补偿线圈具有通过所述的MR传感器单元串的正极电流带和通过矩形软铁磁磁通集中器的负极电流带，所述蛇形补偿线圈在硅基片上沉积刻蚀形成，所述的焊盘将传感器桥臂和蛇形补偿线圈连接到封装结构。
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