[发明专利]一种光学检测系统及光学检测设备有效
| 申请号： | 201610399412.6 | 申请日： | 2016-06-07 |
| 公开（公告）号： | CN106092970B | 公开（公告）日： | 2018-09-11 |
| 发明（设计）人： | 宋磊;黄先纯 | 申请（专利权）人： | 京东方科技集团股份有限公司;合肥鑫晟光电科技有限公司 |
| 主分类号： | G01N21/47 | 分类号： | G01N21/47;G02B5/02;G02B27/10 |
| 代理公司： | 北京同达信恒知识产权代理有限公司 11291 | 代理人： | 黄志华 |
| 地址： | 100015 *** | 国省代码： | 北京;11 |
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| 摘要： | 本发明公开了一种光学检测系统及光学检测设备，第一入射单元提供第一入射光线，并将第一入射光线以预设角度传输至处理单元；第二入射单元提供第二入射光线，并将第二入射光线以若干个角度传输至处理单元；处理单元将第一入射光线和第二入射光线进行处理后以多角度照射到待测基板的表面，经漫反射后形成测试光线传输至生成单元；生成单元根据测试光线，生成待测基板的表面结构的灰度图。由于第一入射单元和第二入射单元的配合，可以实现多角度收集待测基板上的各膜层的灰度信息，得到良好的灰阶成像效果，准确地表现待测基板表面结构的最真实灰度图，进而有效检出不良，提升了检测能力，确保产品后端良率。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 光学 检测 系统 设备 | ||
【主权项】：
1.一种光学检测系统，其特征在于，包括：第一入射单元、第二入射单元、处理单元和生成单元；其中，所述第一入射单元，用于提供第一入射光线，并将所述第一入射光线以预设角度传输至所述处理单元；所述第二入射单元，用于提供第二入射光线，并将所述第二入射光线以若干个角度传输至所述处理单元；所述处理单元，用于将所述第一入射光线和所述第二入射光线进行处理后以多角度照射到待测基板的表面，经漫反射后形成测试光线传输至所述生成单元；所述生成单元，用于根据接收到的所述测试光线，生成所述待测基板的表面结构的灰度图。
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