[发明专利]微机电装置及其制造方法与防止信号衰减的方法

摘要

本发明公开了一种具有防止信号衰减功能的微机电装置以及其制造方法和防止信号衰减的方法。微机电装置包含一基板、一绝缘层和一感测单元。绝缘层设置于基板上，而感测单元设置于绝缘层的上方。基板具有一掺杂区，且在掺杂区中主体的导电载子的极性与当感测单元感测到一外力时所产生的一电信号的极性相同。

主权项

1.一种具有防止信号衰减功能的微机电装置，其特征在于，包含：一基板，具有一掺杂区，在该掺杂区中掺杂有杂质；一绝缘层，位于该基板上；以及一感测单元，位于该绝缘层上方，该感测单元与该基板相分离，该感测单元包含一质量块、多个可动电极、多个固定电极和多个弹性元件，该些可动电极分别地与该些固定电极相隔且面对该些固定电极，该些弹性元件支撑该质量块，该质量块耦接该些可动电极，以及该质量块和该些可动电极因应一外力而振动；其中当两不同电位分别作用在该固定电极和该可动电极上时，一电信号会在该感测单元中对应地产生，该电信号的极性与该掺杂区中主体的导电载子的极性相同；以及其中该微机电装置还包含：一控制器，电性连接该基板和该感测单元，用以判断当无外力作用在该质量块时，该质量块是否偏离一预设位置，并且当该质量块在没有外力作用的情况下已偏离该预设位置时，该控制器提供一控制电压至该基板，以使该质量块恢复至该预设位置，该控制电压的极性与该电信号的极性相同。