[发明专利]在带电粒子显微镜中分析样品表面改性的方法有效
| 申请号： | 201610400193.9 | 申请日： | 2016-06-08 |
| 公开（公告）号： | CN106252187B | 公开（公告）日： | 2020-12-01 |
| 发明（设计）人： | P.波托塞克;F.鲍霍贝;M.P.W.范登博加尔德;E.科克马兹 | 申请（专利权）人： | FEI公司 |
| 主分类号： | H01J37/26 | 分类号： | H01J37/26;H01J37/28 |
| 代理公司： | 中国专利代理(香港)有限公司 72001 | 代理人： | 周学斌;陈岚 |
| 地址： | 美国俄*** | 国省代码： | 暂无信息 |
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| 摘要： | 本发明涉及一种在带电粒子显微镜中分析样品的表面改性的方法。一种使用以下各项来研究样品的方法：‑带电粒子显微镜，其包括：▪样品保持器，用于保持样品；▪源，用于产生带电粒子辐射射束；▪照明器，用于指引所述射束以便照射样品的表面；▪成像检测器，用于接收响应于所述照射而从样品放射的辐射通量，以便产生所述表面的至少部分的图像；‑可以被调用以通过在所述表面上执行选自包括材料去除、材料沉积及其组合的组的过程来对所述表面进行改性的装置，该方法包括以下步骤：‑产生并存储样品的第一、初始表面的第一图像；‑在初级改性步骤中，调用所述装置以便对所述第一表面进行改性，从而产生第二、已改性表面；‑产生并存储所述第二表面的第二图像；‑使用数学上的图像相似性度量来执行所述第二图像和第一图像的像素方面比较，以便生成针对所述初级改性步骤的初级品质因数。 | ||
| 搜索关键词： | 带电 粒子 显微镜 分析 样品 表面 改性 方法 | ||
【主权项】：
一种使用以下各项来研究样品的方法：‑ 带电粒子显微镜，其包括：▪ 样品保持器，用于保持样品；▪ 源，用于产生带电粒子辐射射束；▪ 照明器，用于指引所述射束以便照射样品的表面；▪ 成像检测器，用于接收响应于所述照射而从样品放射的辐射通量，以便产生所述表面的至少部分的图像；‑ 可以被调用以通过在所述表面上执行选自包括材料去除、材料沉积及其组合的组的过程来对所述表面进行改性的装置，该方法的特征在于以下步骤：‑ 产生并存储样品的第一、初始表面的第一图像；‑ 在初级改性步骤中，调用所述装置以便对所述第一表面进行改性，从而产生第二、已改性表面；‑ 产生并存储所述第二表面的第二图像；‑ 使用数学上的图像相似性度量来执行所述第二图像和第一图像的像素方面比较，以便生成针对所述初级改性步骤的初级品质因数。
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