[发明专利]一种高均匀性的电热MEMS微镜/微镜阵列及制造方法在审
| 申请号： | 201610400899.5 | 申请日： | 2016-06-08 |
| 公开（公告）号： | CN106066535A | 公开（公告）日： | 2016-11-02 |
| 发明（设计）人： | 王伟;丁金玲;陈巧;孙其梁;谢会开 | 申请（专利权）人： | 无锡微奥科技有限公司 |
| 主分类号： | G02B26/08 | 分类号： | G02B26/08 |
| 代理公司： | 无锡市朗高知识产权代理有限公司 32262 | 代理人： | 赵华 |
| 地址： | 214100 江苏省无锡市新区*** | 国省代码： | 江苏;32 |
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| 摘要： | 一种集成MEMS微镜阵列，包括M×N个热驱动MEMS微镜单元1、器件层PAD2、底部PAD3、TSV通孔4、TSV基底5和电引线6，其中M、N为大于等于1的整数，该热驱动MEMS微镜单元1包括镜面1‑1、驱动臂1‑2和镜框1‑3，镜面1‑1通过驱动臂1‑2连接在镜框1‑3上，驱动臂1‑2通过电引线6依次与器件层PAD2、TSV通孔4和底部PAD3电连接，驱动臂1‑2位于镜面1‑1的侧面。本申请通过键合带热驱动结构图形的SOI圆片和带腔TSV圆片，解决了热驱动MEMS微镜的释放均匀性、阵列结构的引线电阻分布不均和散热困难的技术问题。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 均匀 电热 mems 微镜 阵列 制造 方法 | ||
【主权项】：
一种集成MEMS微镜阵列，其特征在于包括M×N个热驱动MEMS微镜单元（1）、器件层PAD（2）、底部PAD（3）、TSV通孔（4）、TSV基底（5）和电引线（6），其中M、N为大于等于1的整数，该热驱动MEMS微镜单元（1）包括镜面（1‑1）、驱动臂（1‑2）和镜框（1‑3），镜面（1‑1）通过驱动臂（1‑2）连接在镜框（1‑3）上，驱动臂（1‑2）通过电引线（6）依次与器件层PAD（2）、TSV通孔（4）和底部PAD（3）电连接，驱动臂（1‑2）位于镜面（1‑1）的侧面。
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