[发明专利]折射率测量方法、测量装置和光学元件制造方法在审
| 申请号： | 201610402338.9 | 申请日： | 2016-06-08 |
| 公开（公告）号： | CN106248623A | 公开（公告）日： | 2016-12-21 |
| 发明（设计）人： | 杉本智洋 | 申请（专利权）人： | 佳能株式会社 |
| 主分类号： | G01N21/45 | 分类号： | G01N21/45;G01M11/02 |
| 代理公司： | 中国国际贸易促进委员会专利商标事务所11038 | 代理人： | 欧阳帆 |
| 地址： | 暂无信息 | 国省代码： | 日本;JP |
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| 摘要： | 本发明涉及折射率测量方法、测量装置和光学元件制造方法。以高精度测量测试对象的相位折射率。通过将来自光源的光分为参照光束和测试光束并引起参照光束和透过测试对象的测试光束之间的干涉来测量参照光束和测试光束之间的相位差。通过基于参照对象的相位折射率相对于波长的斜率计算与相位差中包括的2π的整数倍对应的值来计算测试对象的相位折射率。 | ||
| 搜索关键词： | 折射率 测量方法 测量 装置 光学 元件 制造 方法 | ||
【主权项】：
一种测量方法，其特征在于，包括：通过将来自光源的光分成参照光束和测试光束并且引起参照光束和透过测试对象的测试光束之间的干涉，在多个波长处测量参照光束和测试光束之间的相位差；以及通过基于参照对象的已知的相位折射率相对于波长的斜率计算与相位差中包括的2π的整数倍对应的值，计算测试对象的相位折射率。
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