[发明专利]半导体器件的测试装置

摘要

本发明提供一种半导体器件的测试装置，其包括：设置有多根电路走线的底板、至少一连接器、位于该底板上的弹片、位于弹片上的射频垫板、半导体器件放置台、多个Pin针、以及盖板；其中，半导体器件放置台和多个Pin针均固定在所述底板上；所述盖板的一端与所述底板的一侧枢接，该盖板的另一端可卡扣在所述底板的另一侧上；当盖板卡扣在所述底板时，该盖板覆盖在该射频垫板的表面上。利用本发明半导体器件的测试装置进行测试，由于把DC供电、射频电路走线的S参数为固定值，且生成TouchStone文件，半导体器件的TEC温度反馈、高低温控制、和射频性能均集成在本测试装置上，结合本测试装置的机械设计，测试结果一致性好。

主权项

1.一种半导体器件的测试装置，其特征在于，其包括：设置有多根电路走线的底板、固定连接在该底板上且与该多根电路走线连接的至少一连接器、位于该底板上的弹片、位于弹片上的射频垫板、半导体器件放置台、与所述多根电路走线对应连接的多个Pin针、以及盖板；其中，半导体器件放置台和多个Pin针均固定在所述底板上，且该半导体器件放置台和多个Pin针依序穿过所述弹片和射频垫板；所述盖板的一端与所述底板的一侧枢接，该盖板的另一端可卡扣在所述底板的另一侧上；当盖板卡扣在所述底板时，该盖板覆盖在该射频垫板的表面上；所述底板上还有与该多个Pin针交错设置的多个定位齿；多个Pin针和多个定位齿分两组设置在所述底板上；所述射频垫板的表面设有两个定位柱；所述盖板的下表面设有位于所述两个定位柱之间的第一压条；当所述盖板卡扣在底板时，盖板的第一压条位于该两个定位柱之间；所述弹片和射频垫板均设有贯穿该弹片和射频垫板对应位置的第一贯穿槽、第二贯穿槽和第三贯穿槽，该第一贯穿槽位于所述第二贯穿槽和第三贯穿槽之间；其中，所述半导体器件放置台收容在该第一贯穿槽内；所述两组Pin针和定位齿分别收容在所述第二贯穿槽和第三贯穿槽内；所述盖板的下表面还设有压设于所述第一贯穿槽上端的第二压块、压设于所述第二贯穿槽外侧面上端的第三压条、以及压设于所述第三贯穿槽外侧面上端的第四压条；所述第二压块与盖板接触处至少设有一弹簧。