[发明专利]减压装置及利用其的发光显示装置的制造方法

摘要

提供了减压装置及利用其制造发光显示装置的方法。作为示例，减压装置包括腔室、支承台、喷气部、排气装置及排气管，其中，支承台布置在上述腔室的内部下侧并支承衬底，喷气部布置在上述支承台的上方并配置成在面对上述衬底的位置处朝着上述衬底侧喷射惰性气体，排气装置布置在上述腔室的上方外侧，排气管在上述排气装置与上述腔室的上部之间布置成连接至上述排气装置并且提供使根据上述排气装置的排气操作和上述惰性气体的喷射而在面对上述衬底的位置、布置有上述衬底的位置和面对上述衬底的位置上连续流动的气流将上述腔室内部的气体向上述腔室的上部外侧排出的通道。

主权项

一种减压装置，包括：腔室；支承台，布置在所述腔室的内部下侧并支承衬底；喷气部，布置在所述支承台的上方并配置成在面对所述衬底的位置处向所述衬底侧喷射惰性气体；排气装置，布置在所述腔室的上方外侧；以及排气管，在所述排气装置与所述腔室的上部之间布置成连接至所述排气装置，并且提供使根据所述排气装置的排气操作和所述惰性气体的喷射而在面对所述衬底的位置、布置有所述衬底的位置和面对所述衬底的位置上连续流动的气流将所述腔室内部的气体向所述腔室的上部外侧排出的通道。