[发明专利]含氢废气处理装置有效
| 申请号： | 201610402916.9 | 申请日： | 2016-06-08 |
| 公开（公告）号： | CN106237838B | 公开（公告）日： | 2020-10-30 |
| 发明（设计）人： | 朴商权 | 申请（专利权）人： | 圆益IPS股份有限公司 |
| 主分类号： | B01D53/86 | 分类号： | B01D53/86;B01D53/38 |
| 代理公司： | 北京青松知识产权代理事务所(特殊普通合伙) 11384 | 代理人： | 郑青松 |
| 地址： | 韩国京畿道平*** | 国省代码： | 暂无信息 |
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| 摘要： | 本发明公开一种含氢废气处理装置。本发明涉及的含氢废气处理装置(200)的特征在于，包括：处理部(210、250)，其至少一侧连接有供半导体表面改性工艺中产生的含氢废气(HG)流入的含氢废气流入管(110)以及供含氧空气(A)流入的含氧空气流入管(231)，并且所述处理部(210、250)包括多个催化剂载体部(216、256)，所述催化剂载体部包含与含氢废气(HG)发生催化反应的催化剂。 | ||
| 搜索关键词： | 废气 处理 装置 | ||
【主权项】：
一种含氢废气处理装置，其特征在于，包括：处理部，其至少一侧连接有供半导体表面改性工艺中产生的含氢废气流入的含氢废气流入管以及供含氧空气流入的含氧空气流入管，并且所述处理部包括多个催化剂载体部，所述催化剂载体部包含与所述含氢废气发生催化反应的催化剂。
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