[发明专利]用激光干涉仪检测分体式激光对刀仪重复精度的装置及检测方法在审
| 申请号： | 201610403636.X | 申请日： | 2016-06-08 |
| 公开（公告）号： | CN105865343A | 公开（公告）日： | 2016-08-17 |
| 发明（设计）人： | 王庆朋;郝天阳;隋继平;张继德;宋振伟;李俊 | 申请（专利权）人： | 科德数控股份有限公司 |
| 主分类号： | G01B11/00 | 分类号： | G01B11/00 |
| 代理公司： | 大连东方专利代理有限责任公司 21212 | 代理人： | 孟兆华;李洪福 |
| 地址： | 116600 辽*** | 国省代码： | 辽宁;21 |
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| 摘要： | 本发明公开了一种用激光干涉仪检测分体式激光对刀仪重复精度的装置及检测方法，包括：设置于水平工作面上的载物台、能够往复运动的自动滑台、用于分别测量自动滑台运动位置的分体式激光对刀仪和激光干涉仪线性测量组件；所述的分体式激光对刀仪和激光干涉仪线性测量组件用于分别将测得的位置值记录，并传输给处理单元，计算得出分体式激光对刀仪的重复精度。本发明所述的用激光干涉仪检测分体式激光对刀仪重复精度的装置及检测方法，有效的避免了在机测量中预行程误差及测量余弦误差，以便对分体式激光对刀仪精度的分析和误差补偿。 | ||
| 搜索关键词： | 激光 干涉仪 检测 体式 重复 精度 装置 方法 | ||
【主权项】：
一种用激光干涉仪检测分体式激光对刀仪重复精度的装置，其特征在于包括：设置于水平工作面上的载物台(2)、能够往复运动的自动滑台(1)、用于分别测量自动滑台(1)运动位置的分体式激光对刀仪(3)和激光干涉仪线性测量组件(4)；所述的分体式激光对刀仪(3)和激光干涉仪线性测量组件(4)用于分别将测得的位置值记录，并传输给处理单元，计算得出分体式激光对刀仪的重复精度。
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