[发明专利]热分解氮化硼容器的制造方法及热分解氮化硼容器有效
| 申请号： | 201610405107.3 | 申请日： | 2016-06-08 |
| 公开（公告）号： | CN106245000B | 公开（公告）日： | 2019-12-13 |
| 发明（设计）人： | 狩野正树 | 申请（专利权）人： | 信越化学工业株式会社 |
| 主分类号： | C23C16/34 | 分类号： | C23C16/34;C23C16/56;C23C16/44 |
| 代理公司： | 72003 隆天知识产权代理有限公司 | 代理人： | 李英艳 |
| 地址： | 日本*** | 国省代码： | 日本;JP |
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| 摘要： | 本发明提供一种热分解氮化硼容器及其制造方法，所述热分解氮化硼容器不易于产生脱膜、剥离等，且最适于培养单晶。为此，本发明提供一种热分解氮化硼容器的制造方法以及热分解氮化硼容器，所述热分解氮化硼容器的制造方法，是制造热分解氮化硼容器的方法，其由以下步骤构成：使用热化学气相沉积法，将热分解氮化硼成膜于碳制的容器模具材料上；通过将所述成膜物从所述容器模具材料卸下，来获得容器形状的成型体；通过氧化处理所述容器形状的成型体，来去除源自所述容器模具材料并附着于表面上的碳；之后，对所述容器形状的成型体，从与模具材料相接侧的面实施薄化处理，形成一容器。 | ||
| 搜索关键词： | 分解 氮化 容器 制造 方法 | ||
【主权项】：
1.一种热分解氮化硼容器的制造方法，其是制造热分解氮化硼容器的方法，所述热分解氮化硼容器的制造方法由以下步骤构成：/n使用热化学气相沉积法，将热分解氮化硼成膜于碳制的容器模具材料上；/n通过将所述成膜物从所述容器模具材料卸下，来获得容器形状的成型体；/n通过对所述容器形状的成型体以850℃至1100℃的温度加热1～10小时进行氧化处理，来去除源自所述容器模具材料并附着于表面上的碳；/n之后，对所述容器形状的成型体，从与模具材料相接侧的面，实施将0.5μm以上且100μm以下的厚度的表层去除的薄化处理，形成一容器。/n
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C23 对金属材料的镀覆；用金属材料对材料的镀覆；表面化学处理；金属材料的扩散处理；真空蒸发法、溅射法、离子注入法或化学气相沉积法的一般镀覆；金属材料腐蚀或积垢的一般抑制
C23C 对金属材料的镀覆；用金属材料对材料的镀覆；表面扩散法，化学转化或置换法的金属材料表面处理；真空蒸发法、溅射法、离子注入法或化学气相沉积法的一般镀覆
C23C16-00 通过气态化合物分解且表面材料的反应产物不留存于镀层中的化学镀覆，例如化学气相沉积
C23C16-01 .在临时基体上，例如在随后通过浸蚀除去的基体上
C23C16-02 .待镀材料的预处理
C23C16-04 .局部表面上的镀覆，例如使用掩蔽物的
C23C16-06 .以金属材料的沉积为特征的
C23C16-22 .以沉积金属材料以外之无机材料为特征的
C23C 对金属材料的镀覆；用金属材料对材料的镀覆；表面扩散法，化学转化或置换法的金属材料表面处理；真空蒸发法、溅射法、离子注入法或化学气相沉积法的一般镀覆
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