[发明专利]一种Li基低介低损耗LTCC材料及其制备方法

摘要

本发明属于微波电子陶瓷材料及其制造领域，具体涉及一种Li基低介电常数的LTCC材料及其制备方法。该材料按照Li₂MoSi_1+xO_6+2x(‑0.2≤x≤0.2)化学计量，通过固相反应合成，最终得到包含两相的复合陶瓷，主晶相为菱方晶系的Li₂MoO₄，第二相为六方晶系的SiO₂。其制备方法为以Li₂CO₃，MoO₃及SiO₂为原料，按照配比称取，通过球磨、烘料、煅烧、二次球磨、烘料、造粒、成型、排胶及烧结等一系列工艺过程，最终得到低介低损耗的Li基LTCC材料。该LTCC材料具有在低温烧结(≤900℃)条件下低介(≤5.0)低损耗(7137～14895GHz)的特征，在LTCC基板及集成器件中具有广阔的应用前景。

主权项

1.一种Li基低介低损耗LTCC材料，其特征在于：原料配方为Li2CO3、MoO3和SiO2按照Li2MoSi1+xO6+2x，‑0.2≤x≤0.2，化学计量称量，组成按照摩尔比Li2CO3:MoO3:SiO2＝1:1:0.8～1.2，主晶相为菱方晶系的Li2MoO4，第二相为六方晶系的SiO2。