[发明专利]用于解析离子源进样装置的XY移动平台在审
| 申请号： | 201610405689.5 | 申请日： | 2016-06-12 |
| 公开（公告）号： | CN105895492A | 公开（公告）日： | 2016-08-24 |
| 发明（设计）人： | 应刚;徐鹏登;周立 | 申请（专利权）人： | 江苏天瑞仪器股份有限公司 |
| 主分类号： | H01J49/04 | 分类号： | H01J49/04;H01J49/16 |
| 代理公司： | 暂无信息 | 代理人： | 暂无信息 |
| 地址： | 215347 江苏省苏州市昆*** | 国省代码： | 江苏;32 |
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| 摘要： | 本发明公开了一种用于解析离子源进样装置的XY移动平台，包括X移动平台和Y移动平台，X移动平台安装在所述Y移动平台上，X移动平台包括基座，滑动部件和轨道部件，滑动部件滑动安装在所述轨道部件上，所述轨道部件安装在所述基座上，所述X移动平台上包括第一挡块和第二挡块；本发明通过XY移动平台的运动推动举靶顶靶机构使得盖板上的凹槽与靶槽平台形成封闭腔室并由真空系统抽真空，以形成过渡真空腔室，可以有效地使得样品进行一个动态的样品对于真空度的适应过程，操作更加灵活和便捷。 | ||
| 搜索关键词： | 用于 解析 离子源 装置 xy 移动 平台 | ||
【主权项】：
一种用于解析离子源进样装置的XY移动平台，其特征在于，包括X移动平台和Y移动平台，所述X移动平台安装在所述Y移动平台上，所述X移动平台包括基座，滑动部件和轨道部件，所述滑动部件滑动安装在所述轨道部件上，所述轨道部件安装在所述基座上，所述X移动平台上包括第一挡块和第二挡块。
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