[发明专利]基于磁性PDMS掩模的微坑阵列电解加工的系统与方法有效
| 申请号： | 201610406156.9 | 申请日： | 2016-06-12 |
| 公开（公告）号： | CN106064261B | 公开（公告）日： | 2017-12-26 |
| 发明（设计）人： | 侯志保;曲宁松;陈晓磊 | 申请（专利权）人： | 南京航空航天大学 |
| 主分类号： | B23H3/00 | 分类号： | B23H3/00;B23H9/00 |
| 代理公司： | 江苏圣典律师事务所32237 | 代理人： | 贺翔 |
| 地址： | 210016 江*** | 国省代码： | 江苏;32 |
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| 摘要： | 本发明涉及一种基于磁性PDMS掩模的微坑阵列电解加工的系统与方法，属微细电解加工领域。包括阴极工具（1）、PDMS掩模、阳极工件（3）、夹具（5）、电解液（6）、电源（7）；其特征在于PDMS掩模为磁性PDMS掩模（2），在阳极工件（3）下方还布置有用于吸引所述磁性PDMS掩模（2），使其紧贴于所述阳极工件（3）表面的永磁体（4）。采用本发明进行电解加工，磁性PDMS掩模在磁场下可以紧密贴合在阳极工件表面，提高电解加工微坑阵列的定域性。 | ||
| 搜索关键词： | 基于 磁性 pdms 阵列 电解 加工 系统 方法 | ||
【主权项】：
一种基于磁性PDMS掩模的微坑阵列电解加工的系统，包括：阴极工具（1）、PDMS掩模、阳极工件（3）、夹具（5）、电解液（6）、电源（7）；上述夹具（5）内部为工作腔，阳极工件（3）、PDMS掩模、阴极工具（1）、永磁体（4）均位于工作腔内；阳极工件（3）和阴极工具（1）分别连接电源（7）正负极；上述夹具（5）具有进液口和出液口，进液口位于夹具上方，出液口沿周向均匀分布于夹具侧壁；上述阴极工具（1）位于PDMS掩模上方，阳极工件（3）位于PDMS掩模下方，阴极工具具有均匀群缝结构，PDMS掩模具有通孔阵列；其特征在于：上述PDMS掩模为磁性PDMS掩模（2），在阳极工件（3）下方还布置有用于吸引所述磁性PDMS掩模（2），使其紧贴于所述阳极工件（3）表面的永磁体（4）。
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