[发明专利]一种太赫兹光扩束均匀化装置在审
| 申请号： | 201610407943.5 | 申请日： | 2016-06-12 |
| 公开（公告）号： | CN105911702A | 公开（公告）日： | 2016-08-31 |
| 发明（设计）人： | 王亮;王鹏;王宏臣;陈文礼;董珊 | 申请（专利权）人： | 烟台睿创微纳技术有限公司 |
| 主分类号： | G02B27/09 | 分类号： | G02B27/09 |
| 代理公司： | 北京轻创知识产权代理有限公司 11212 | 代理人： | 王澎 |
| 地址： | 264006 山东省*** | 国省代码： | 山东;37 |
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| 摘要： | 本发明涉及一种太赫兹光扩束均匀化装置，所述扩束均匀化装置的前端设置有太赫兹光源，所述扩束均匀化装置包括扩束器、积分器和成像焦平面，所述扩束器设置在太赫兹光源与积分器之间，所述焦平面设置在积分器后端，所述扩束器包括凸透镜I和凸透镜II，所述凸透镜I设置在凸透镜II与太赫兹光源之间，所述积分器包括两个微透镜阵列、透镜和聚光透镜，所述两个微透镜阵列分别固定设置在透镜的前后两面，所述透镜设置在聚光透镜前端，所述成像焦平面设置在聚光透镜后焦点处，所述凸透镜I、凸透镜II和聚光透镜的光心与太赫兹光源的中心在同一直线上；本发明结构简单，能获得大面积能量均匀分布的平顶太赫兹光斑。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 赫兹 光扩束 均匀 化装 | ||
【主权项】：
一种太赫兹光扩束均匀化装置，所述扩束均匀化装置的前端设置有太赫兹光源(1)，其特征在于，所述扩束均匀化装置包括扩束器(2)、积分器(3)和成像焦平面(4)，所述扩束器(2)设置在太赫兹光源(1)与积分器(3)之间，所述焦平面设置在积分器(3)后端，所述扩束器(2)包括凸透镜I(5)和凸透镜II(6)，所述凸透镜I(5)设置在凸透镜II(6)与太赫兹光源(1)之间，所述凸透镜I(5)的后焦点与凸透镜II(6)的前焦点重合，所述积分器(3)包括两个微透镜阵列(7)、透镜(8)和聚光透镜(9)，所述微透镜阵列(7)由若干个子球面透射镜(10)排列构成，所述两个微透镜阵列(7)分别固定设置在透镜(8)的前后两面，所述透镜(8)设置在聚光透镜(9)前端，所述成像焦平面(4)设置在聚光透镜(9)后焦点处，所述凸透镜I(5)、凸透镜II(6)和聚光透镜(9)的光心与太赫兹光源(1)的中心在同一直线上。
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