[发明专利]一种大尺寸蓝宝石超薄双面抛光窗口片加工方法

摘要

本发明涉及一种大尺寸蓝宝石超薄双面抛光窗口片加工方法，其方法如下：（1）将蓝宝石晶棒切割成蓝宝石窗口片，（2）倒圆角处理保护边缘，（3）以退火温度1450°C进行退火加工，（4）双面研磨粗磨加工，（5）以退火温度1600°C进行二次退火加工，（6）双面研磨精磨加工，（7）超声波清洗，（8）用二氧化硅蓝宝石抛光液在双面抛光机内抛光，（9）用超声波清洗得到蓝宝石双面抛光窗口片；本发明具有操作方便，一次成品合格率高，研磨过程中无破片等特点，适用于加工直径4英寸、6英寸厚度0.20～0.25mm的蓝宝石双面抛光窗口片。

主权项

1.一种大尺寸蓝宝石超薄双面抛光窗口片加工方法，其特征为，其方法如下：（1）将蓝宝石晶棒用金刚线多线切片机切割成厚度为0.42±0.03mm的蓝宝石窗口片；（2）将切割后的蓝宝石窗口片进行倒圆角处理保护边缘，倒圆角尺寸R=0.20±0.05mm；（3）将倒圆角处理后的蓝宝石窗口片进行退火加工，在退火温度1450°C保温6h；（4）将退火加工后的蓝宝石窗口片进行双面研磨的粗磨加工，研磨移除量为0.12mm～0.15mm, 采用研磨碳化硼粒径度号为W40；（5）将粗磨后的蓝宝石窗口片进行二次退火，在退火温度1600°C保温12h；（6）将二次退火后的蓝宝石窗口片进行双面研磨的精磨加工，研磨移除量为0.05mm～0.07mm；（7）将精磨后的蓝宝石窗口片放入RO纯水内，用超声波清洗15min；（8）将超声波清洗后的蓝宝石窗口片放入双面抛光机内，用二氧化硅蓝宝石抛光液，在0.10～0.15 kg/cm2压力下抛光2.5h；（9）将抛光后的蓝宝石窗口片放入RO纯水内，用超声波清洗30min，得到蓝宝石双面抛光窗口片。