[发明专利]一种超快激光微细加工系统

摘要

本申请提供了一种超快激光微细加工系统，包括机床、安装于所述机床上的三维移动平台、安装于所述机床上的激光传输模组、加工头模组、及控制系统，所述机床包括底座、及自所述底座一侧向上延伸形成的立柱，所述三维移动平台包括安装于所述底座上的Y轴移动平台、安装于所述Y轴移动平台上的X轴移动平台、及安装于所述立柱一侧位于所述X轴移动平台上方的Z轴移动平台，所述X轴移动平台上设有用于装夹待加工产品的夹具。本申请可对多种材料进行微细加工。

主权项

一种超快激光微细加工系统，其特征在于，包括机床、控制系统、安装于所述机床上的三维移动平台、安装于所述机床上的激光传输模组、及安装于所述三维移动平台上的加工头模组，所述机床包括底座、及自所述底座一侧向上延伸形成的立柱，所述三维移动平台包括安装于所述底座上的Y轴移动平台、安装于所述Y轴移动平台上的X轴移动平台、及安装于所述立柱一侧位于所述X轴移动平台上方的Z轴移动平台，所述X轴移动平台上设有用于装夹待加工产品的夹具；所述激光传输模组包括超快激光器、扩束器、偏振转化装置、光束整形模块、分光器和光学加工模块，所述光学加工模块安装于所述加工头模组上，所述光学加工模块包括并行设置的旋切光学模组、扫描振镜模组和多光束并行加工模组，所述超快激光器输出的超短脉冲激光束进入所述扩束器后，所述扩束器将超短脉冲激光束处理后传输至偏振转化装置，所述偏振转化装置将线偏振光转化为圆偏振光后传导至所述光束整形模块，所述圆偏振光经过所述光束整形模块将处理后的激光束输出至所述分光器，所述分光器将激光束分为两路输出至两个光学加工模块后对产品进行加工。