[发明专利]紫外曝光机光学混光照明系统在审
| 申请号： | 201610409067.X | 申请日： | 2016-06-13 |
| 公开（公告）号： | CN106054538A | 公开（公告）日： | 2016-10-26 |
| 发明（设计）人： | 马颖鏖 | 申请（专利权）人： | 马颖鏖 |
| 主分类号： | G03F7/20 | 分类号： | G03F7/20 |
| 代理公司： | 上海科律专利代理事务所(特殊普通合伙) 31290 | 代理人： | 袁亚军;金碎平 |
| 地址： | 200030 上海市徐*** | 国省代码： | 上海;31 |
| 权利要求书： | 查看更多 | 说明书： | 查看更多 |
| 摘要： | 本发明公开了一种紫外曝光机光学混光照明系统，包括多路不同波长的光源，所述多路不同波长的光源经过分光板合并成混合光源，并作为紫外曝光机的照明光源；所述多路不同波长的光源在分光板处经过反射或者透过方式进行混光；所述多路不同波长的光源设置在光轴的一侧，当某路光源以反射方式经过分光板时，入射角大于45度，当某路光源以透过方式经过分光板时，入射角小于45度。本发明提供的紫外曝光机光学混光照明系统，通过采用混合光源作为紫外曝光机的照明光源，有效地避免单独波长光源照明系统所带来的不足，结合不同波长光源的优点，有效提高紫外曝光的效率。 | ||
| 搜索关键词： | 紫外 曝光 光学 照明 系统 | ||
【主权项】：
一种紫外曝光机光学混光照明系统，其特征在于，包括多路不同波长的光源，所述多路不同波长的光源经过分光板合并成混合光源，并作为紫外曝光机的照明光源。
下载完整专利技术内容需要扣除积分，VIP会员可以免费下载。
该专利技术资料仅供研究查看技术是否侵权等信息，商用须获得专利权人授权。该专利全部权利属于马颖鏖，未经马颖鏖许可，擅自商用是侵权行为。如果您想购买此专利、获得商业授权和技术合作，请联系【客服】
本文链接：http://www.vipzhuanli.com/patent/201610409067.X/，转载请声明来源钻瓜专利网。
- 上一篇：一种汽车行李架及汽车
- 下一篇：具有成组齿部的圆锯片
