[发明专利]一种大梯度可视化管式单晶生长炉有效
| 申请号： | 201610409228.5 | 申请日： | 2016-06-08 |
| 公开（公告）号： | CN105951169B | 公开（公告）日： | 2018-09-25 |
| 发明（设计）人： | 袁泽锐;康彬;唐明静;张羽;窦云巍;陈莹;方攀 | 申请（专利权）人： | 中国工程物理研究院化工材料研究所;四川省新材料研究中心 |
| 主分类号： | C30B11/00 | 分类号： | C30B11/00 |
| 代理公司： | 四川省成都市天策商标专利事务所 51213 | 代理人： | 刘兴亮 |
| 地址： | 621000*** | 国省代码： | 四川;51 |
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| 摘要： | 本发明公开了一种大梯度可视化管式单晶生长炉。它包括上炉、下炉和中间观察区；所述上炉由外至内依次为上炉壳、上保温棉和上加热电阻丝，所述下炉由外至内依次为下炉壳、下保温棉和下加热电阻丝；所述上炉顶部设置上炉口堵头，所述下炉底部设置下炉口堵头；所述上炉与下炉之间的中间观察区由内至外依次设置镀金石英内管、未镀金石英外管，并且所述镀金石英内管与未镀金石英外管之间有空隙；所述上下炉壳、上下保温棉、上下加热电阻丝、镀金石英内管和未镀金石英外管的圆心同轴。本发明的管式单晶生长炉避免了单一窗口式观察会造成径向温场不对称的现象；易于观察、制备成本低，且有利于产业化推广。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 梯度 可视化 管式单晶 生长 | ||
【主权项】：
1.一种大梯度可视化管式单晶生长炉，其特征在于它包括上炉、下炉和中间观察区；所述上炉由外至内依次为上炉壳(21)、上保温棉(11)和上加热电阻丝(31)，所述下炉由外至内依次为下炉壳(22)、下保温棉(12)和下加热电阻丝(32)；所述上炉壳(21)与下炉壳(22)的内外径均相等，所述上保温棉(11)和下保温棉(12)的内径相等，所述上炉壳(21)底板和下炉壳(22)顶板的宽度小于上保温棉(11)的厚度；所述上炉顶部设置上炉口堵头(4)，所述下炉底部设置下炉口堵头(5)；所述上炉与下炉之间的中间观察区由内至外依次设置镀金石英内管(6)、未镀金石英外管(7)，并且所述镀金石英内管(6)与未镀金石英外管(7)之间有空隙；所述镀金石英内管(6)、未镀金石英外管(7)与上、下炉的炉壳交界的地方填充保温棉进行密封；所述上炉壳(21)、上保温棉(11)、上加热电阻丝(31)、下炉壳(22)、下保温棉(12)、下加热电阻丝(32)、镀金石英内管(6)和未镀金石英外管(7)的圆心同轴。
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