[发明专利]去除多晶硅中硬质点不溶物的方法有效
申请号: | 201610410891.7 | 申请日: | 2016-06-08 |
公开(公告)号: | CN105926037B | 公开(公告)日: | 2019-01-18 |
发明(设计)人: | 方明;李鹏廷;谭毅;姜大川;张磊 | 申请(专利权)人: | 大工(青岛)新能源材料技术研究院有限公司 |
主分类号: | C30B29/06 | 分类号: | C30B29/06;C30B28/06 |
代理公司: | 青岛发思特专利商标代理有限公司 37212 | 代理人: | 巩同海 |
地址: | 266000 山东省*** | 国省代码: | 山东;37 |
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摘要: | 本发明涉及一种去除多晶硅中硬质点不溶物的方法,属于多晶硅技术领域。所述的方法是选用多晶硅铸锭/提纯过程产生的顶皮、边皮料作为原料,通过中频线圈感应加热使其熔化,控制中频电流,加入石英砂以去除硅液中的硬质点,然后通过石墨勺将富含硬质点的渣剂去除,最后将除杂后的硅液倒入冷却包,得到去除硬质点后的多晶硅。本发明解决了传统方法中存在的去除效果差、分离困难、高温难溶、产品损耗量大的问题,具有去除硬质点的效果显著的特点,其所需的设备简单、工业化应用前景广阔。 | ||
搜索关键词: | 去除 多晶 硅中硬 质点 不溶物 方法 | ||
【主权项】:
1.一种去除多晶硅中硬质点不溶物的方法,其特征在于:包括以下步骤:(1)将多晶硅在铸锭或提纯过程中产生的顶皮、边皮料作为原料,经清洗后置于中频感应炉的坩埚内;其中,所述原料中硅的含量为90‑99wt%,其表面富含气孔和硬质点;(2)启动加热,待原料完全融化后加入石英砂,然后待石英砂完全熔化后进行保温;(3)经搅拌后用石墨勺扒出上层渣剂,经冷却后得到去除硬质点的多晶硅;步骤(2)中加入石英砂时,中频感应炉的加热功率为40‑80kW;石英砂完全熔化时,中频感应炉的加热功率为80‑120kW;保温时中频感应炉的加热功率为120‑150kW;步骤(3)中搅拌时间为5‑30min。
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