[发明专利]半导体组件及其制造方法有效
申请号: | 201610412701.5 | 申请日: | 2013-08-05 |
公开(公告)号: | CN106098661B | 公开(公告)日: | 2019-01-22 |
发明(设计)人: | 郑斌宏 | 申请(专利权)人: | 日月光半导体制造股份有限公司 |
主分类号: | H01L23/48 | 分类号: | H01L23/48;H01L21/768 |
代理公司: | 北京律盟知识产权代理有限责任公司 11287 | 代理人: | 林斯凯 |
地址: | 中国台湾高雄市楠梓*** | 国省代码: | 中国台湾;71 |
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摘要: | 本发明公开一种半导体组件及其制造方法,所述半导体组件包含一半导体基板及至少一钝化层,所述钝化层包含数个矩形单元、数个切割道及数个桥接部,所述矩形单元彼此间隔排列,每一切割道分别位于两相邻矩形单元之间,所述桥接部彼此间隔横跨所述切割道且连接两相邻矩形单元。通过在所述切割道横设有桥接部,使两相邻的矩形单元的表面能利用桥接部的接合,达到表面连续的效果,使后续电镀路径可连通所述钝化层的所有矩形单元,以提高电镀的良率。 | ||
搜索关键词: | 半导体 组件 及其 制造 方法 | ||
【主权项】:
1.一种半导体组件,其特征在于:所述半导体组件包含:一半导体基板,所述半导体基板包含一有源表面;一背面,相反于所述有源表面;及数个穿导孔,自所述有源表面贯穿至所述背面,其中一凸块底金属层位于所述穿导孔的底面;数个矩形单元,设置于所述半导体基板上且彼此间隔排列;数个切割道,每一切割道分别位于两相邻矩形单元之间;及一种子层设置在所述数个矩形单元上;及数个桥接部,彼此间隔横跨所述切割道且连接两相邻矩形单元。
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