[发明专利]MEMS 谐振器有效
| 申请号： | 201610412729.9 | 申请日： | 2016-06-13 |
| 公开（公告）号： | CN106877837B | 公开（公告）日： | 2021-03-30 |
| 发明（设计）人： | 俞一善 | 申请（专利权）人： | 现代自动车株式会社 |
| 主分类号： | H03H9/17 | 分类号： | H03H9/17;H03H9/02 |
| 代理公司： | 北京尚诚知识产权代理有限公司 11322 | 代理人： | 龙淳;彭益群 |
| 地址： | 韩国*** | 国省代码： | 暂无信息 |
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| 摘要： | 本发明提供一种MEMS谐振器包括：主基板，其在所述主基板的中心形成接收部；质量体，其具有通过主基板的两侧弹性支承的一个端部和中心部；驱动单元，其配置在主基板上的接收部的一侧，并且通过施加至质量体的一个端部的两侧的电压产生驱动扭矩，从而相对于主基板移动质量体的位置；以及，调谐部，其包括相对于第二弹性构件对称设置的一对调谐单元，并且具有梁构件，上述梁构件通过驱动每个调谐单元的操作来改变第二弹性构件的长度，从而控制频率。 | ||
| 搜索关键词： | mems 谐振器 | ||
【主权项】：
一种MEMS谐振器,包括：主基板，其在所述主基板的中心形成接收部；质量体，其位于所述主基板的接收部的中心，并且具有在所述主基板的两侧、通过第一弹性构件和第二弹性构件弹性地支承的一个端部和中心部；驱动单元，其配置在所述主基板的接收部的一侧，并且通过施加至所述质量体的一个端部的两侧的电压产生驱动扭矩，从而相对于所述主基板移动所述质量体的位置；以及调谐部，其包括相对于所述第二弹性构件对称设置的一对调谐单元，所述一对调谐单元对应于所述质量体的中心部的两侧，分别配置在所述接收部，并且所述调谐部具有梁构件，所述梁构件通过每个调谐单元的致动操作来改变所述第二弹性构件的长度，从而控制频率。
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