[发明专利]一种超高速快门半导体影像传感器有效
申请号: | 201610413090.6 | 申请日: | 2016-06-13 |
公开(公告)号: | CN107492558B | 公开(公告)日: | 2019-11-15 |
发明(设计)人: | 张帆;牛憨笨 | 申请(专利权)人: | 深圳大学 |
主分类号: | H01L27/146 | 分类号: | H01L27/146 |
代理公司: | 44549 广东恩典律师事务所 | 代理人: | 张绍波<国际申请>=<国际公布>=<进入 |
地址: | 518000广东省*** | 国省代码: | 广东;44 |
权利要求书: | 查看更多 | 说明书: | 查看更多 |
摘要: | 本发明公开了一种半导体影像传感器,在其像素阵列内部中的除光电二极管(D1)的光敏感区域以外的位置上,罩有由不透明导电材料构成的遮光结构;所述遮光结构与构成光电二极管(D1)一极的由半导体材料构成的区域间呈环状接触,仅在引出光电二极管(D1)另外一极的引线的位置留有开口;所述遮光结构在像素阵列内部仅在每个所述环状接触内部以及所述开口处具有孔洞。在本发明中,曝光开始及结束控制晶体管(M1、M2)的漏极分别连接到信号存储电容(C1)的两端,在使用0.5微米CMOS混合信号工艺实施本发明时,其最短快门选通时间仅75皮秒,对405纳米可见光的残留感光低至八千万分之一,具有超高速快门和低残留感光的特性。 | ||
搜索关键词: | 一种 超高速 快门 半导体 影像 传感器 | ||
【主权项】:
1.一种半导体影像传感器,其像素阵列的每一个像素单元电路中包含至少一个半导体光电二极管(D1),其特征在于:在像素阵列内部中的除所述光电二极管(D1)的光敏感区域以外的位置上,罩有由不透明导电材料构成的遮光结构;所述遮光结构与构成光电二极管(D1)一极的由半导体材料构成的区域之间设置有环状接触面,仅在引出光电二极管(D1)另外一极的引线的位置留有开口;在拓扑结构上,所述遮光结构在像素阵列内部仅在每个所述环状接触面内部以及所述开口处具有孔洞;/n所述像素单元电路包括光电二极管(D1)、信号存储电容(C1)、曝光开始控制晶体管(M1)、曝光结束控制晶体管(M2)、复位晶体管(M3)、读出缓冲晶体管(M4)与读出选择晶体管(M5);所述信号存储电容(C1)的一端连接光电二极管(D1)的正极或负极、曝光开始控制晶体管(M1)的漏极、复位晶体管(M3)的漏极或源极,另一端连接曝光结束控制晶体管(M2)的漏极以及读出缓冲晶体管(M4)的栅极。/n
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H01 基本电气元件
H01L 半导体器件;其他类目中不包括的电固体器件
H01L27-00 由在一个共用衬底内或其上形成的多个半导体或其他固态组件组成的器件
H01L27-01 .只包括有在一公共绝缘衬底上形成的无源薄膜或厚膜元件的器件
H01L27-02 .包括有专门适用于整流、振荡、放大或切换的半导体组件并且至少有一个电位跃变势垒或者表面势垒的;包括至少有一个跃变势垒或者表面势垒的无源集成电路单元的
H01L27-14 . 包括有对红外辐射、光、较短波长的电磁辐射或者微粒子辐射并且专门适用于把这样的辐射能转换为电能的,或适用于通过这样的辐射控制电能的半导体组件的
H01L27-15 .包括专门适用于光发射并且包括至少有一个电位跃变势垒或者表面势垒的半导体组件
H01L27-16 .包括含有或不含有不同材料结点的热电元件的;包括有热磁组件的
H01L 半导体器件;其他类目中不包括的电固体器件
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