[发明专利]单势垒型InGaAsSb红外探测器在审

专利信息
申请号: 201610414401.0 申请日: 2016-06-13
公开(公告)号: CN105932092A 公开(公告)日: 2016-09-07
发明(设计)人: 向伟;王国伟;徐应强;郝宏玥;韩玺;任正伟;贺振宏;牛智川 申请(专利权)人: 中国科学院半导体研究所
主分类号: H01L31/109 分类号: H01L31/109;H01L31/0304
代理公司: 中科专利商标代理有限责任公司 11021 代理人: 汤保平
地址: 100083 *** 国省代码: 北京;11
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摘要: 一种单势垒型InGaAsSb红外探测器,包括:一GaSb衬底;一下接触层,其制作在GaSb衬底上;一复合层,其制作在下接触层上;一上接触层,其制作在复合层上。本发明可以针对目前应变InGaAs探测器的缺陷,该单势垒型InGaAsSb红外探测器具有暗电流小,低噪声的优点。
搜索关键词: 单势垒型 ingaassb 红外探测器
【主权项】:
一种单势垒型InGaAsSb红外探测器,包括:一GaSb衬底;一下接触层,其制作在GaSb衬底上;一复合层,其制作在下接触层上;一上接触层,其制作在复合层上。
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