[发明专利]一种真空磁控溅射镀膜设备在审
| 申请号： | 201610415443.6 | 申请日： | 2016-06-14 |
| 公开（公告）号： | CN105970173A | 公开（公告）日： | 2016-09-28 |
| 发明（设计）人： | 苏贵方 | 申请（专利权）人： | 肇庆市大力真空设备有限公司 |
| 主分类号： | C23C14/35 | 分类号： | C23C14/35;C23C14/56 |
| 代理公司： | 广州市华学知识产权代理有限公司 44245 | 代理人： | 梁睦宇 |
| 地址： | 526060 广东省*** | 国省代码： | 广东;44 |
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| 摘要： | 本发明公开了一种真空磁控溅射镀膜设备，包括依次连接的上片架、前清洗机、进片过渡架、进片粗抽室、进片预抽室、进片过渡室、进片缓冲室、镀膜室、出片缓冲室、出片过渡室、出片预抽室、出片粗抽室和出片过渡架、依次连接的底漆淋漆段、底漆烧烤箱和面漆淋漆段及依次连接的面漆烘烤箱、面漆风干段、后清洗机、纠偏架和下片架；其特征在于：所述出片过渡架和底漆淋漆段之间及面漆淋漆段和面漆烘烤箱之间均设有玻璃工件旋转台；所述出片过渡架和底漆淋漆段通过其中一个玻璃工件旋转台连接，所述面漆淋漆段和面漆烘烤箱通过另一个玻璃工件旋转台连接。本发明减少了真空磁控镀膜设备的直线长度，提高了整个设备的紧凑性，降低生产成本。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 真空 磁控溅射 镀膜 设备 | ||
【主权项】：
一种真空磁控溅射镀膜设备，包括依次连接的上片架、前清洗机、进片过渡架、进片粗抽室、进片预抽室、进片过渡室、进片缓冲室、镀膜室、出片缓冲室、出片过渡室、出片预抽室、出片粗抽室和出片过渡架、依次连接的底漆淋漆段、底漆烧烤箱和面漆淋漆段及依次连接的面漆烘烤箱、面漆风干段、后清洗机、纠偏架和下片架；其特征在于：所述出片过渡架和底漆淋漆段之间及面漆淋漆段和面漆烘烤箱之间均设有玻璃工件旋转台；所述出片过渡架和底漆淋漆段通过其中一个玻璃工件旋转台连接，所述面漆淋漆段和面漆烘烤箱通过另一个玻璃工件旋转台连接。
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