[发明专利]一种高精度Xe介质放电等离子体极紫外光刻光源光谱标定的方法

摘要

一种高精度Xe介质放电等离子体极紫外光刻光源光谱标定的方法，涉及光谱识别领域。本发明是为了解决现有的采用Hg灯对8nm～20nm范围内的线状谱进行标定，谱线的标定准确性差，导致对光谱的识别性差的问题。本发明第一步采用真空紫外阴极灯对罗兰圆谱仪进行初步标定，工作气体为He气；第二步采用He气和Ar气介质毛细管放电机制工作，通过He气和Ar气的线状谱对罗兰圆谱仪进行精确地标定。它用于对光谱进行标定。

主权项

一种高精度Xe介质放电等离子体极紫外光刻光源光谱标定的方法，其特征在于，它包括以下步骤：步骤一、调整真空紫外阴极灯和罗兰圆光谱仪的位置，保证真空紫外阴极灯出射的光能垂直入射到罗兰圆光谱仪的入射狭缝正中心，然后将罗兰圆光谱仪和真空紫外阴极灯通过波纹管连接好，在阴极谱灯中充入He气，抽真空到达10^‑2Pa量级；步骤二、将罗兰圆光谱仪调到某一特定中心波长λ处，打开数据采集系统，进行降温并去噪，此时准备工作就绪；步骤三、打开真空紫外阴极灯，通过数据采集系统按照真空紫外阴极灯辐射出的辐射谱拟合出一条初始曲线，同时对比He的特征谱线，初步判定该初始曲线的各条谱线对应的波长值；通过控制步进电机转动，使得步进电机连接的罗兰圆光谱仪上的光栅转动，使罗兰圆光谱仪运动到内部设定的中心波长λ处，观察该中心波长λ是否实际出现在CCD中心像素点512像素处，如果是，则执行步骤四，如果否，则执行步骤五；步骤四、该谱线对应的波长即为此时中心波长值；步骤五、手动调节中心波长直至该谱线出现在512像素处，重复步骤三至步骤五确定最初记录光谱图像上各像素对应的波长值，再通过二次拟合的方法建立在某一中心波长处像素与波长的对应关系，改变中心波长，重复步骤三至步骤五得到不同中心波长时像素与波长的对应关系，完成罗兰圆光谱仪对极紫外光刻光源光谱的初步标定工作；步骤六、由于阴极灯谱线较少，这导致步骤一至步骤五标定的波长与像素的关系数据量少，此时，在毛细管内充入He气，对充入的毛细管施加脉冲电源，使毛细管放电，然后测量辐射谱，将步骤一至步骤五得到的像素与波长的对应关系与真实波长进行对比，确定测量谱线中强度较强的谱线对应的波长作为中心波长，重复操作步骤二至步骤五，得到5nm～60nm范围内罗兰圆光谱仪像素对应的波长。