[发明专利]一种电化学镀铜洗边宽度的自动调节装置和自动调节方法

摘要

一种电化学镀铜洗边宽度的自动调节装置之调节方法，包括：步骤S1：设置在喷嘴下侧的传感器感测夹具的运动位置；步骤S2：当夹具恰于喷嘴处时，洗边溶液供给装置提供低于正常洗边工艺流速的洗边溶液至喷嘴；当夹具恰过喷嘴时，洗边溶液供给装置提供正常洗边工艺流速的洗边溶液至喷嘴；步骤S3：获得的电化学镀铜之边缘洗边宽度均一。本发明通过在喷嘴之下侧设置用于感测夹具之运动位置的传感器，并根据夹具与喷嘴的相对位置，凭借分段电流控制单元进行洗边溶液之流速控制，进而实现电化学镀铜之边缘洗边宽度均一，不仅其结构简单，使用方便，而且可自动调节获得洗边宽度均一之特性，提高产品良率。

主权项

1.一种电化学镀铜洗边宽度的自动调节装置，其特征在于，所述电化学镀铜洗边宽度的自动调节装置，包括：夹具，所述夹具间隔设置在待工艺处理之晶圆的外侧，用于固定所述晶圆，并与所述晶圆做同步运动；喷嘴，所述喷嘴与外界洗边溶液供给装置连接，并设置在所述晶圆之一侧，用于向所述晶圆之边缘喷洒洗边溶液；传感器，所述传感器设置在所述喷嘴下侧，并用于感测所述夹具之运动位置；分段电流控制单元，所述分段电流控制单元与所述洗边溶液供给装置电连接，并根据所述夹具之运动位置对所述喷嘴喷洒的洗边溶液的流速进行调节。