[发明专利]一种化学气相沉积设备专用挡板装置

摘要

本发明公开了一种化学气相沉积设备专用挡板装置，包括真空转接法兰、挡板、挡板连接杆、支撑杆和手柄，真空转接法兰设置于沉积腔体的壳体上，支撑杆通过固定杆与沉积腔体连接，挡板设置于沉积腔体内，挡板与挡板连接杆一端连接，挡板连接杆的另一端横向依次穿过真空转接法兰和支架，与手柄连接，挡板连接杆通过轴承与支撑杆连接，通过前后移动手柄进而通过挡板连接杆带动挡板移动，挡板连接杆上还设有止动装置，当通过手柄带动挡板移动到合适位置时，通过止动装置对挡板连接杆止动固定。阻止沉积腔体内的源溶液蒸汽在基板上沉积，确保化学气相沉积的沉积时间为一可控的定值，减小实验误差，提高薄膜质量，该装置结构简单，操作方便，提高了工作效率。

主权项

1.一种化学气相沉积设备专用挡板装置，其特征在于，包括真空转接法兰、挡板、挡板连接杆、支撑杆和手柄，真空转接法兰设置于沉积腔体的壳体上，隔绝沉积腔体外的空气，使沉积腔体保持真空环境，支撑杆底部设有固定杆，固定杆与沉积腔体连接固定，挡板设置于沉积腔体内，挡板与挡板连接杆一端连接，挡板连接杆的另一端横向依次穿过真空转接法兰和支架，与手柄连接，挡板连接杆通过轴承与支撑杆连接，通过前后移动手柄进而通过挡板连接杆带动挡板移动，挡板连接杆上还设有止动装置，当通过手柄带动挡板移动到合适位置时，通过止动装置对挡板连接杆止动固定，防止挡板移动和转动；止动装置包括止动器、防转动杆和防滑动杆，防转动杆的一端与挡板连接杆连接，防转动杆的另一端与防滑动杆的一端连接，防滑动杆的另一端穿过支撑杆，防滑动杆通过轴承与支撑杆连接，防滑动杆与挡板连接杆平行设置，防滑动杆通过防转动杆随挡板连接杆横向移动，止动器设置于防滑动杆上，当挡板随挡板连接杆移动到合适位置时，通过止动器对防滑动杆止动固定，进而防止挡板连接杆移动，挡板连接杆通过防转动杆与防滑动杆连接，防止挡板连接杆转动。