[发明专利]一种在线测试光学元件激光损伤的方法及装置在审
| 申请号： | 201610423298.6 | 申请日： | 2016-06-14 |
| 公开（公告）号： | CN106066318A | 公开（公告）日： | 2016-11-02 |
| 发明（设计）人： | 邓文渊;金春水;靳京城;李春;周烽 | 申请（专利权）人： | 中国科学院长春光学精密机械与物理研究所 |
| 主分类号： | G01N21/64 | 分类号： | G01N21/64 |
| 代理公司： | 深圳市科进知识产权代理事务所(普通合伙) 44316 | 代理人： | 郝明琴 |
| 地址： | 130033 吉林省长春*** | 国省代码： | 吉林;22 |
| 权利要求书： | 查看更多 | 说明书： | 查看更多 |
| 摘要： | 本发明公开了一种在线测试光学元件激光损伤的方法装置。该方法包括以下步骤：产生激光，并辐照到光学元件的表面；对激光辐照到光学元件的表面后激发出的荧光信号进行荧光成像，以形成荧光图像，并且收集激光辐照光学元件的表面时所激发的荧光信号；根据荧光图像获取荧光强度的变化，进而根据荧光强度的变化判断光学元件的损伤区域，进一步对荧光信号的光谱进行分析，进而进一步根据光谱的变化判断光学元件的损伤。通过上述方式，本发明能够实现对光学元件的辐照区域的实时在线连续监测，提高激光辐照下光学元件的损伤演变及机理研究的效率，有助于对光学元件的损伤演变和机理进行有效地研究。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 在线 测试 光学 元件 激光 损伤 方法 装置 | ||
【主权项】：
一种在线测试光学元件激光损伤的方法，其特征在于，所述方法包括以下步骤：产生激光，并辐照到所述光学元件的表面；对所述激光辐照到所述光学元件的表面后激发出的荧光信号进行荧光成像，以形成荧光图像，并且收集激光辐照所述光学元件的表面时所激发的荧光信号；根据所述荧光图像获取荧光强度的变化，进而根据所述荧光强度的变化判断所述光学元件的损伤区域，进一步对所述荧光信号的光谱进行分析，进而进一步根据所述光谱的变化判断所述光学元件的损伤。
下载完整专利技术内容需要扣除积分，VIP会员可以免费下载。
该专利技术资料仅供研究查看技术是否侵权等信息，商用须获得专利权人授权。该专利全部权利属于中国科学院长春光学精密机械与物理研究所，未经中国科学院长春光学精密机械与物理研究所许可，擅自商用是侵权行为。如果您想购买此专利、获得商业授权和技术合作，请联系【客服】
本文链接：http://www.vipzhuanli.com/patent/201610423298.6/，转载请声明来源钻瓜专利网。
