[发明专利]灯泡故障检测器

摘要

本发明提供用于检测在快速热处理(RTP)工具中的灯泡故障的设备和方法。本发明提供灯泡故障检测系统，该灯泡故障检测系统可容纳DC和/或AC电压。系统沿着电路路径采样电压信号，该电路路径由至少两个串联连接的灯泡形成；基于采样的电压信号来计算横跨于至少两个串联连接的灯泡中的第一灯泡的电压降；和基于横跨于第一灯泡的电压降与施加至电路路径的总电压之间的关系来确定灯泡故障是否已发生。

主权项

1.一种用于半导体基板的处理的设备，所述设备包括：腔室主体，所述腔室主体具有开口；灯泡头组件，所述灯泡头组件设置为相邻所述腔室主体的所述开口，所述灯泡头组件包括多个灯泡；和灯泡故障检测器，所述灯泡故障检测器电耦接至所述灯泡头组件，并且所述灯泡故障检测器包括：电压数据采集模块，所述电压数据采集模块放置为在电路路径上采样直流电压信号，所述电路路径由所述多个灯泡中的至少两个串联连接的灯泡形成；第一电容器，所述第一电容器耦接至所述电路路径于第一节点处，所述第一节点与所述至少两个串联连接的灯泡中的第一灯泡相关联，并且所述第一电容器耦接至所述电压数据采集模块；第二电容器，所述第二电容器耦接至所述电路路径于第二节点处，所述第二节点与所述至少两个串联连接的灯泡中的所述第一灯泡相关联，并且所述第二电容器耦接至所述电压数据采集模块；和控制器，所述控制器调适为从所述电压数据采集模块接收所采样的直流电压信号的数字值，并且基于横跨于所述至少两个串联连接的灯泡中的所述第一灯泡的电压降，确定所述至少两个串联连接的灯泡中的一个或多个灯泡的状态，所述横跨于所述至少两个串联连接的灯泡中的所述第一灯泡的电压降是由所采样的直流电压信号确定的；第一电阻器，所述第一电阻器耦接在每一电路路径的所述第一电容器与第二电容器之间，以与所述第一灯泡并联；和滤波整流器，所述滤波整流器耦接至所述第一电阻器，其中所述滤波整流器包括：桥式整流器，所述桥式整流器具有：耦接以与所述第一电阻器并联的端点；和测量电容器，所述测量电容器耦接以与所述桥式整流器的抽头并联。