[发明专利]一种用于显示面板制程的烘烤设备

摘要

本发明公开了一种用于显示面板制程的烘烤设备，该烘烤设备包括设备主体，设备主体定义一容纳待烘烤基板的烘烤腔室，设备主体的顶部设置有排气通道，排气通道用于排出待烘烤基板在烘烤腔室内进行烘烤时产生的蒸汽。通过这种方式，本发明烘烤设备能够将溶剂导出，避免偶发液滴滴下导致产品报废问题，大幅度降低维护保养的频率。

主权项

1.一种用于显示面板制程的烘烤设备，其特征在于，所述烘烤设备包括设备主体，所述设备主体定义一容纳待烘烤基板的烘烤腔室，所述设备主体的顶部设置有排气通道，所述排气通道用于排出所述待烘烤基板在所述烘烤腔室内进行烘烤时产生的蒸汽；所述排气通道相对于竖直方向倾斜设置；所述设备主体的顶部进一步设置有与所述排气通道连通的集液槽，所述集液槽用于收集所述蒸汽在经所述排气通道排出过程中产生的冷凝液体；所述集液槽呈长条状设置；所述集液槽相对于水平面倾斜设置，以使得所述集液槽内收集的冷凝液体向所述集液槽的相对较低的一端流动；所述集液槽与所述排气通道靠近所述待烘烤基板的一端连通。