[发明专利]一种基于高稳定性CO检测电源模块在审
申请号: | 201610424657.X | 申请日: | 2016-06-15 |
公开(公告)号: | CN105928990A | 公开(公告)日: | 2016-09-07 |
发明(设计)人: | 杨林 | 申请(专利权)人: | 杨林 |
主分类号: | G01N27/12 | 分类号: | G01N27/12;H02M1/00 |
代理公司: | 北京高航知识产权代理有限公司 11530 | 代理人: | 赵永强 |
地址: | 315200 浙江*** | 国省代码: | 浙江;33 |
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摘要: | 本申请涉及一种基于高稳定性CO检测电源模块,该电源模块安装有CO气体传感器,所述CO气体传感器包括Si基底、形成于所述Si基底上的氧化硅薄膜、置于所述氧化硅薄膜上的W膜、形成于W膜上的WO3纳米线薄膜、覆于WO3纳米线薄膜上的SnO2纳米薄膜、在SnO2纳米薄膜上制作的两个Pt电极和位于所述Si基底上的加热模块。该电源模块对CO气体的灵敏度高,响应时间短,重复性及稳定性均较佳。 | ||
搜索关键词: | 一种 基于 稳定性 co 检测 电源模块 | ||
【主权项】:
一种基于高稳定性CO检测电源模块,该电源模块安装有CO气体传感器;所述CO气体传感器包括Si基底、形成于所述Si基底上的氧化硅薄膜、置于所述氧化硅薄膜上的W膜、形成于W膜上的WO3纳米线薄膜、覆于WO3纳米线薄膜上的SnO2纳米薄膜、在SnO2纳米薄膜上制作的两个Pt电极和位于所述Si基底下方的加热模块;所述WO3纳米线长度为500~1200nm。
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