[发明专利]一种低温烧结锂镁铌系微波介质陶瓷的制备方法

摘要

本发明以Li₃Mg₂NbO₆微波介质陶瓷为基础，外加0.05～1.5％的B₂O₃烧结助剂，成功将其烧结温度由1250℃降至925℃，制备出介电常数为14.00、品质因数67,451GHz、谐振频率温度系数为‑16.82ppm/℃的微波介质陶瓷。本发明的制备工艺简单，过程无污染，改善了其谐振频率温度系数和品质因数，是一种很有前途的LTCC微波介质材料。

主权项

一种低温烧结锂镁铌系微波介质陶瓷，其组成为Li₃Mg₂NbO₆‑xB₂O₃，其中0.05％≤x≤1.5％。上述低温烧结锂镁铌系微波介质陶瓷的制备方法，具有以下步骤：(1)将Li₂CO₃、MgO、Nb₂O₅原料，按化学式Li₃Mg₂NbO₆进行配料，按原料：去离子水：磨球＝1:16:15的质量比加入聚酯罐中，在球磨机上球磨4～6小时；(2)将步骤⑴球磨后的原料置于干燥箱中，于80～130℃烘干，烘干后过40目筛，获得颗粒均匀的粉料；(3)将步骤⑵混合均匀的粉料在1050℃预烧4小时；(4)在步骤⑶预烧后的陶瓷粉料放入聚酯罐中，外加质量百分比0.05～1.5％的B₂O₃与煅烧后的粉体混合，然后加入无水乙醇和氧化锆球，在球磨机上球磨6～8小时；待无水乙醇自然挥发后在陶瓷粉料中外加重量百分比为8～10％的石蜡作为粘合剂进行造粒，过80目筛，再用粉末压片机成型为坯体；(5)将步骤⑷的坯体于850～950℃烧结，保温2～5小时，制得低温烧结锂镁铌系微波介质陶瓷。