[发明专利]一种投影物镜柔性调平装置及其调平方法在审
| 申请号： | 201610425138.5 | 申请日： | 2016-06-13 |
| 公开（公告）号： | CN105867074A | 公开（公告）日： | 2016-08-17 |
| 发明（设计）人： | 程刚;张慧珍;山显雷 | 申请（专利权）人： | 安徽德衍智控科技有限公司 |
| 主分类号： | G03F7/20 | 分类号： | G03F7/20 |
| 代理公司： | 南京瑞弘专利商标事务所(普通合伙) 32249 | 代理人： | 朱亮淞 |
| 地址： | 235000 安徽*** | 国省代码： | 安徽;34 |
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| 摘要： | 本发明公开了一种投影物镜柔性调平装置及其调平方法，包括物镜托架板、安装板、柔性块和调平机构，所述物镜托架板上安装有物镜，所述柔性块的上层与物镜托架板下底面平行设置，所述柔性块的下层与安装板的上表面平行设置；所述柔性块通过调平机构调节实现物镜托架板在X和Y轴方向微位移，实现物镜在X和Y轴方向上的调平。本发明提供一种投影物镜柔性调平装置及其调平方法，保证物镜的光轴与硅片表面垂直，并保证物镜的理想像平面与理想的硅片上表面重合。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 投影 物镜 柔性 平装 及其 平方 | ||
【主权项】：
一种投影物镜柔性调平装置，其特征在于：包括物镜托架板(3)、安装板(4)、柔性块(6)和调平机构，所述物镜托架板(3)上安装有物镜(1)，所述柔性块(6)的上层与物镜托架板(3)下底面平行设置，所述柔性块(6)的下层与安装板(4)的上表面平行设置；所述柔性块(6)通过调平机构调节实现物镜托架板(3)在X和Y轴方向微位移，实现物镜(1)在X和Y轴方向上的调平。
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