[发明专利]一种抗紫外线功能的金属合金夹层结构透明导电薄膜

摘要

本发明公开了一种具有抗紫外线功能的金属合金夹层结构透明导电薄膜，所述金属合金夹层结构透明导电薄膜由金属氧化物或/和金属硫化物夹金属合金薄膜形成三层或更多层薄膜结构，金属合金薄膜采用Ag、Cu和Au合金材料。制得的金属合金夹层结构透明导电薄膜，除用于薄膜太阳能电池外，还可用于显示、光电器件、抗电磁波和其他需防紫外光的应用领域。采用本发明的透明导电薄膜用于薄膜太阳能电池如有机太阳能电池和钙钛矿太阳能电池的电极，器件的耐紫外线效果明显提高。本发明制作工艺可采用真空镀膜技术如磁控溅射、热蒸镀、电子束、离子束等方法沉积，沉积过程中无需衬底温度，有利于在柔性衬底上制备，节约电池和器件成本。

主权项

一种具有抗紫外线功能的金属合金夹层结构透明导电薄膜，其特征在于，该导电薄膜由金属氧化物或/和金属硫化物或/和金属硒化物薄膜夹金属合金薄膜形成三层或数层结构的透明薄膜或者半透明薄膜，在小于350nm紫外波段，其透光率低于30%；其中，底、面两层薄膜由金属氧化物或金属硫化物沉积而成，厚度为10‑100nm；夹层薄膜为金属合金薄膜，厚度为7‑20nm；所述金属合金为银合金、铜合金或金合金；所述金属氧化物为氧化锌、氧化镍、氧化钼、氧化物、氧化钛、氧化铟、氧化锡或它们的掺杂型氧化物；所述金属硫化物为ZnS、CdS、PbS或它们的掺杂型硫化物；所述金属硒化物为ZnSe、CdSe或它们的掺杂型硒化物。