[发明专利]一种大口径光栅衍射效率的测量装置和测量方法

摘要

本发明专利提出了一种大口径光栅衍射效率的测量装置和测量方法,包括光源、单色器、传输光纤、分束镜、二维扫描机构、样品台、参考光探测器和测试光探测器，根据测量光强度和参考光光强的比值，以及衍射光强度和参考光强度的比值，计算得到大口径光栅单个位置处的衍射效率值，接着利用二维扫描机构在水平和垂直方向扫描光纤测量头，依次得到大口径光栅各个位置处的衍射效率值，从而完成大口径光栅衍射效率的测量。本发明实现了大口径光栅衍射效率的测量，降低了测量系统的构建成本，消除了测量过程中的安全隐患，显著加快了大口径光栅衍射效率的测量速度，同时能保证大口径光栅衍射效率的测量数据具有较好的重复性和复现性。

主权项

1.一种大口径光栅衍射效率的测量装置，其特征在于，包括光源(13)、单色器(14)、光阑(15)、聚焦镜(16)、光纤耦合装置(17)、传输光纤(18)、二维扫描机构(22)、测试光探测器(23)、供待测光栅(26)放置的样品台(25)，以及固定在所述的二维扫描机构(22)上的光纤准直镜(19)、分束镜(20)、参考光探测器(21)和偏振片(24)；所述的光源(13)发出的光束经所述的单色器(14)形成测量所需波长的单色光束，通过光阑(15)过滤掉单色光束中的杂散光，同时调节光束口径大小后经所述的聚焦镜(16)聚焦后的光束通过光纤耦合装置(17)进入到传输光纤(18)中，经传输光纤(18)的传输后，在传输光纤出射端经过光纤准直镜(19)的准直作用后成为平行光束，该平行光束经过分束镜(20)形成一束参考光和一束测量光，所述的参考光照射在参考光探测器(21)上，所述的测试光经过偏振片(24)形成测量所需的线偏振光，并照射在待测光栅(26)上，待测光栅(26)固定在样品台(25)上。