[发明专利]多层材料的激光处理装置和方法

摘要

本发明提供的多层材料的激光处理装置和方法，属于包括激光加工材料。多层材料的激光处理装置包括用于出射激光束的光源以及多焦点衍射光学元件，激光束通过多焦点衍射光学元件分离形成沿激光束的传播路径依次间隔排列的多个聚焦光斑。多层材料的激光处理方法包括以下步骤利用多焦点衍射光学元件将激光束分离形成沿激光束的传播方向依次间隔排列的多个聚焦光斑。将多个聚焦光斑照射于多层材料，以使多个聚焦光斑分别位于多层材料的多个材料层内。本发明提供的处理方法能够实现快速、高效地对多层材料进行激光处理，从而获得高质量的工件、提高生产效率。

主权项

一种多层材料的激光处理方法，所述多层材料包括依次层叠的多个材料层，其特征在于，所述激光处理方法包括：利用多焦点衍射光学元件将激光束分离形成沿所述激光束的传播方向依次间隔排列的多个聚焦光斑；以及将所述多个聚焦光斑照射于所述多层材料，以使所述多个聚焦光斑分别位于所述多层材料的所述多个材料层内。