[发明专利]用于薄膜太阳能电池气相沉积镀膜的掩膜板

摘要

一种用于薄膜太阳能电池气相沉积镀膜的掩膜板，包括外框和位于外框中的若干分隔板，外框和分隔板将掩膜板分隔成若干个格子，每个格子有四条边，每个格子内有若干个长条结构的镀膜区域，所述分隔板为离散式结构，以使得所述每个格子的四条边中，至少有一条具有缺口，格子的四个顶点全部或者部分开放，可以容纳顶角有凸角的基片，本发明所述掩膜板中，格子的四周存在可以容纳镊子等工具的空隙，便于平稳地放入，取出或者调整基片。

主权项

1.一种用于薄膜太阳能电池气相沉积镀膜的掩膜板，包括外框(1)和位于外框(1)中的若干分隔板(2)，外框(1)和分隔板(2)将掩膜板分隔成若干个格子(3)，每个格子(3)有四条边(4)，每个格子(3)内有若干个长条结构的镀膜区域(5)，其特征在于，所述分隔板(2)为离散式结构，以使得所述每个格子(3)的四条边(4)中，至少有一条具有缺口。