[发明专利]一种感光性树脂组合物有效
| 申请号： | 201610429612.1 | 申请日： | 2016-06-16 |
| 公开（公告）号： | CN105974737B | 公开（公告）日： | 2019-07-02 |
| 发明（设计）人： | 李志强;李伟杰;严晓慧;黄森彪;韩传龙;周光大 | 申请（专利权）人： | 杭州福斯特应用材料股份有限公司 |
| 主分类号： | G03F7/027 | 分类号： | G03F7/027;G03F7/004 |
| 代理公司： | 杭州求是专利事务所有限公司 33200 | 代理人： | 邱启旺 |
| 地址： | 311300 浙江省*** | 国省代码： | 浙江;33 |
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| 摘要： | 本发明公开了一种感光性树脂组合物，它含有55‑70重量份的聚合物、15‑40重量份的具有乙烯基可光交联单体和0.5‑5重量份光引发剂，所述聚合物由一种或多种含羧基的共聚单元单体与一种或多种不含羧基基团的共聚单元单体共聚而得；本发明能使显影液不溶物质更好地形成胶束，能够减少显影液中不溶物，有效减少显影垃圾。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 感光性 树脂 组合 | ||
【主权项】：
1.一种感光性树脂组合物，其特征在于，包括55‑70重量份的聚合物、15‑40重量份的具有乙烯基可光交联的单体、0.5‑5重量份光引发剂；所述聚合物由一种或多种含羧基的共聚单元单体与一种或多种不含羧基基团的共聚单元单体共聚而得；聚合物的酸值在120‑250mgKOH/g，重均分子量在30000‑160000；所述含有乙烯基可光交联单体包括式(I)所示结构的化合物：![]()
式中，R1、R2各自独立地表示氢原子或甲基，m，n均为自然数，且2≤m+n≤15；R3、R4、R5中，任意一个为一个硬脂酸酯基![]()
另外两个为式(II)所示结构的基团；![]()
R6为氢原子或甲基。
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