[发明专利]一种能够实现高灵敏CO检测的环境监测装置在审
| 申请号： | 201610429894.5 | 申请日： | 2016-06-15 |
| 公开（公告）号： | CN106124578A | 公开（公告）日： | 2016-11-16 |
| 发明（设计）人： | 杨林 | 申请（专利权）人： | 杨林 |
| 主分类号： | G01N27/26 | 分类号： | G01N27/26;G01N27/30 |
| 代理公司： | 北京高航知识产权代理有限公司 11530 | 代理人： | 赵永强 |
| 地址： | 315200 浙江*** | 国省代码： | 浙江;33 |
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| 摘要： | 本申请涉及一种能够实现高灵敏CO检测的环境监测装置，该环境监测装置安装有CO气体传感器，所述CO气体传感器包括Si基底、形成于所述Si基底上的氧化硅薄膜、置于所述氧化硅薄膜上的W膜、形成于W膜上的WO3纳米线薄膜、覆于WO3纳米线薄膜上的SnO2纳米薄膜、在SnO2纳米薄膜上制作的两个Pt电极和位于所述Si基底上的加热模块。该环境监测装置对CO气体的灵敏度高，响应时间短，重复性及稳定性均较佳。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 能够 实现 灵敏 co 检测 环境监测 装置 | ||
【主权项】：
一种能够实现高灵敏CO检测的环境监测装置，该环境监测装置安装有CO气体传感器；所述CO气体传感器包括Si基底、形成于所述Si基底上的氧化硅薄膜、置于所述氧化硅薄膜上的W膜、形成于W膜上的WO3纳米线薄膜、覆于WO3纳米线薄膜上的SnO2纳米薄膜、在SnO2纳米薄膜上制作的两个Pt电极和位于所述Si基底下方的加热模块；所述WO3纳米线长度为500～2000nm。
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