[发明专利]一种紧凑的激光诱导击穿光谱测量系统有效
| 申请号： | 201610430501.2 | 申请日： | 2016-06-16 |
| 公开（公告）号： | CN106124483B | 公开（公告）日： | 2019-06-18 |
| 发明（设计）人： | 赵天卓;樊仲维;连富强;刘洋;肖红;聂树真;付杰 | 申请（专利权）人： | 中国科学院光电研究院;中科和光（天津）应用激光技术研究所有限公司 |
| 主分类号： | G01N21/71 | 分类号： | G01N21/71 |
| 代理公司： | 北京风雅颂专利代理有限公司 11403 | 代理人： | 李阳;李浩 |
| 地址： | 100094*** | 国省代码： | 北京;11 |
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| 摘要： | 本发明公开了一种紧凑的激光诱导击穿光谱测量系统，所述控制模块控制所述激光光源根据预设的工作指令向所述聚焦采集装置发射激光光束，所述聚焦采集装置将激光光束聚焦照射到待测样品上，并且所述聚焦采集装置将所述待测样品产生的等离子体光采集传送给所述的光谱获取模块；还有，所述的控制模块对所述光谱获取模块接收的光谱数据进行分析，得到待测样品的检测结果。因此，所述一种紧凑的激光诱导击穿光谱测量系统能够解决现有激光诱导击穿光谱测量技术激光聚焦和光谱采集分开，导致难以集成化、小型化的问题。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 紧凑 激光 诱导 击穿 光谱 测量 系统 | ||
【主权项】：
1.一种紧凑的激光诱导击穿光谱测量系统，其特征在于，包括：激光光源、控制模块、光谱获取模块以及聚焦采集装置；其中，所述控制模块控制所述激光光源根据预设的工作指令向所述聚焦采集装置发射激光光束，所述聚焦采集装置将激光光束聚焦照射到待测样品上，并且所述聚焦采集装置将所述待测样品产生的等离子体光采集传送给所述的光谱获取模块；还有，所述的控制模块对所述光谱获取模块接收的光谱数据进行分析，得到待测样品的检测结果；所述聚焦采集装置包括透镜、带孔透镜以及双排光纤耦合探头；其中，所述带孔透镜为一个上半部分带有圆孔的双凸镜，与主轴形成一定夹角，用来将所述激光光源发送的激光光束进行离轴聚焦；然后，所述的激光光束再经过透镜汇聚到待测样品的表面；还有，所述双排光纤耦合探头将待测样品产生的离焦的不同波段的等离子体光耦合到所述光谱获取模块。
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