[发明专利]叠层成像术成像的方法有效

专利信息
申请号: 201610431548.0 申请日: 2016-06-17
公开(公告)号: CN106257323B 公开(公告)日: 2019-04-30
发明(设计)人: E.G.T.博斯;I.拉兹 申请(专利权)人: FEI公司
主分类号: G02B27/46 分类号: G02B27/46;G02B27/42;G02B27/00
代理公司: 中国专利代理(香港)有限公司 72001 代理人: 徐红燕;陈岚
地址: 美国俄*** 国省代码: 美国;US
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摘要: 叠层成像术成像的方法。当像素数目过低时,在执行叠层成像术时出现问题。通常,需要大量的像素(在装仓之后)以获得对象的高质量重构。发明人发现通过使用具有比检测器的像素数目更多的节点(例如512x512个节点)的计算平面,可以进行对象的高质量重构,即使当使用例如16段检测器或32x32像素检测器时。由于较大的像素尺寸,因此拦截较高的通量,减少了对检测器S/N比和动态范围的需求。图示使用(仿真)16段检测器的(仿真)无定形碳对象和重构对象。虽然重构对象示出较少分辨率(“锐度”),但所有特征在那里。当尝试用现有技术方法、对相同对象且使用相同探测器重构时,重构在使用128x128像素检测器时突然中止(失败),且当使用256x256像素检测器时观察到伪像。
搜索关键词: 成像 方法
【主权项】:
1.一种叠层成像术成像的方法,包括:在对象平面中提供对象在检测器平面中提供像素化检测器,检测器平面通过菲涅耳传播函数与对象平面共轭,像素化检测器被装配成检测波前的强度,提供辐射源和探测器形成部分,其被装配成在对象平面上形成输入波前,输入波前被对象变换成输出波前,提供对象的数学估计、菲涅耳传播函数的估计和输入波前的估计、对象的数学估计由第一计算平面中的数个节点表示,每个节点有复值,通过以下各项来获取至少两个图像:选择用于照射的对象的区域,用辐射来照射所述区域,检测像素化检测器上的检测器波前的强度,从而产生检测器图像,其中,每个被照射区域与至少一个其它被照射区域重叠;以及迭代地更新对象的数学估计,使得在第一计算平面中将对象的数学估计与输入波前的估计相乘之后并在使用菲涅耳传播函数来传播到由第二计算平面的数个节点表示的图像的数学估计之后,检测器图像的像素的检测强度与针对所述至少两个图像的在所述第二计算平面中的图像的数学估计的对应区域的强度匹配,直至满足中断判据为止,其中:检测器图像的像素对应于第二计算平面的超过一个节点,并且在更新期间,使得每个检测器像素的测量强度与对应的数个节点的强度匹配。
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