[发明专利]一种高灵敏度的MEMS环形振动陀螺谐振子结构在审
| 申请号： | 201610432646.6 | 申请日： | 2016-06-17 |
| 公开（公告）号： | CN106123884A | 公开（公告）日： | 2016-11-16 |
| 发明（设计）人： | 刘俊;曹慧亮;寇志伟;石云波;申冲;唐军;马宗敏;刘文耀 | 申请（专利权）人： | 中北大学 |
| 主分类号： | G01C19/5684 | 分类号： | G01C19/5684 |
| 代理公司： | 太原科卫专利事务所(普通合伙) 14100 | 代理人： | 朱源;王勇 |
| 地址： | 030051 山*** | 国省代码： | 山西;14 |
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| 摘要： | 本发明涉及MEMS环形振动陀螺，具体是一种高灵敏度的MEMS环形振动陀螺谐振子结构。本发明解决了现有MEMS环形振动陀螺灵敏度低的问题。一种高灵敏度的MEMS环形振动陀螺谐振子结构，包括圆筒状谐振质量、圆柱状中心锚点、轮辐状弹性支撑悬梁；其中，圆柱状中心锚点穿设于圆筒状谐振质量的内腔，且圆柱状中心锚点的轴线与圆筒状谐振质量的轴线相互重合；轮辐状弹性支撑悬梁的数目为八个，且八个轮辐状弹性支撑悬梁围绕圆柱状中心锚点的轴线等距排列；八个轮辐状弹性支撑悬梁的尾端均与圆柱状中心锚点的侧面固定；八个轮辐状弹性支撑悬梁的首端均与圆筒状谐振质量的内侧面固定。本发明适用于MEMS环形振动陀螺。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 灵敏度 mems 环形 振动 陀螺 谐振子 结构 | ||
【主权项】：
一种高灵敏度的MEMS环形振动陀螺谐振子结构，其特征在于：包括圆筒状谐振质量（1）、圆柱状中心锚点（2）、轮辐状弹性支撑悬梁（3）；其中，圆柱状中心锚点（2）穿设于圆筒状谐振质量（1）的内腔，且圆柱状中心锚点（2）的轴线与圆筒状谐振质量（1）的轴线相互重合；轮辐状弹性支撑悬梁（3）的数目为八个，且八个轮辐状弹性支撑悬梁（3）围绕圆柱状中心锚点（2）的轴线等距排列；八个轮辐状弹性支撑悬梁（3）的尾端均与圆柱状中心锚点（2）的侧面固定；八个轮辐状弹性支撑悬梁（3）的首端均与圆筒状谐振质量（1）的内侧面固定。
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