[发明专利]一种HDI板内层层间对准度控制方法

摘要

本发明公开了一种HDI板内层层间对准度控制方法，制作内层线和图样使用的菲林需要经过前期检测，菲林的前期检测包括对菲林进行前期补偿，并检测挑选所使用的菲林，保证所用菲林的涨缩在+/‑1MIL以内，所用菲林对角线的涨缩在+/‑1MIL以内；将检测后合格并被挑选使用的菲林上设置监测点；在使用菲林制作内层线和图样的过程中，按每200PNL/次复测菲林的涨缩数值并记录，并在内层线和图样制作完成后，测量菲林的涨缩数据并记录。本发明的技术方案的优点在于它能克服现有生产流程的弊端，设计合理新颖。

主权项

一种HDI板内层层间对准度控制方法的制作方法，由以下步骤制成：（1）开板：把基板裁成适用的大小尺寸，以利于后续制造过程加工；在裁切基板过程中或者在裁切后通过烘板操作对基板进行加热加工；（2）内层：在裁切好的基板上钻出方便后续对位和检修的孔，并且使用菲林蚀刻制作内层线和图样；（3）AOI：将步骤（2）制作好的基板放置到光学检测设备上，通过光学检测设备对基板进行缺陷检测，将检测不合格的基板进行回收处理，检测合格的基板送到下一步骤；（4）棕化：将步骤（3）检测合格的基板进行棕化处理；（5）子板压合：使用辅强材料对多层基板进行压合，以形成多层板；（6）钻埋孔：通过钻孔的方式设置作为多层基板之间的导通通道的埋孔；其特征在于：在步骤（2）中，制作内层线和图样使用的菲林需要经过前期检测，菲林的前期检测包括对菲林进行前期补偿，并检测挑选所使用的菲林，保证所用菲林的涨缩在+/‑1MIL以内，所用菲林对角线的涨缩在+/‑1MIL以内；将检测后合格并被挑选使用的菲林上设置监测点；在使用菲林制作内层线和图样的过程中，按每200PNL/次复测菲林的涨缩数值并记录，并在内层线和图样制作完成后，测量菲林的涨缩数据并记录。