[发明专利]一种类金刚石/立方氮化硼多层复合涂层及其制备方法有效
| 申请号： | 201610436286.7 | 申请日： | 2016-06-17 |
| 公开（公告）号： | CN107513690B | 公开（公告）日： | 2019-07-02 |
| 发明（设计）人： | 唐永炳;朱海莉;蒋春磊 | 申请（专利权）人： | 中国科学院深圳先进技术研究院 |
| 主分类号： | C23C14/32 | 分类号： | C23C14/32;C23C14/06 |
| 代理公司： | 深圳中一专利商标事务所 44237 | 代理人： | 张全文 |
| 地址： | 518000 广东省深圳*** | 国省代码： | 广东;44 |
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| 摘要： | 本发明属于真空镀膜技术领域，提供了一种类金刚石/立方氮化硼多层复合涂层及其制备方法。所述类金刚石/立方氮化硼多层复合涂层涂覆在基底上，包括在所述基底上沉积的金属过渡层，在所述金属过渡层上依次交替沉积的立方氮化硼涂层和类金刚石涂层，所述类金刚石/立方氮化硼多层复合涂层的最外层为类金刚石涂层。本发明提供的类金刚石/立方氮化硼多层复合涂层，不仅涂层应力小，而且涂层韧性好，具有较长的使用寿命和较好的耐磨性。 | ||
| 搜索关键词： | 种类 金刚石 立方 氮化 多层 复合 涂层 及其 制备 方法 | ||
【主权项】：
1.一种类金刚石/立方氮化硼多层复合涂层，其特征在于，所述类金刚石/立方氮化硼多层复合涂层涂覆在基底上，包括在所述基底上沉积的金属过渡层，在所述金属过渡层上依次交替沉积的立方氮化硼涂层和类金刚石涂层，所述类金刚石/立方氮化硼多层复合涂层的最外层为类金刚石涂层。
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