[发明专利]一种二氧化钒纳米颗粒膜的制备方法有效
| 申请号： | 201610436708.0 | 申请日： | 2016-06-17 |
| 公开（公告）号： | CN106048532B | 公开（公告）日： | 2018-08-03 |
| 发明（设计）人： | 田野;罗飞;刘大博;祁洪飞;滕乐金 | 申请（专利权）人： | 中国航空工业集团公司北京航空材料研究院 |
| 主分类号： | C23C14/14 | 分类号： | C23C14/14;C23C14/34;C23C14/58 |
| 代理公司： | 中国航空专利中心 11008 | 代理人： | 李建英 |
| 地址： | 100095*** | 国省代码： | 北京;11 |
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| 摘要： | 本发明涉及智能薄膜材料领域，具体涉及一种二氧化钒纳米颗粒膜的制备方法。本发明利用磁控溅射方法制备金属钒膜，随后将金属钒膜放入通有氮气的敞口管式炉中进行高温退火处理，保温一定时间后快速取出冷却。该方法无需复杂的真空热处理设备，通过简单的氧化反应，即可获得所需的二氧化钒薄膜。其过程工艺简单可控，所制备的薄膜晶粒尺寸均匀并且细小，相变特性明显，为二氧化钒薄膜材料提供了一种低成本、短周期、可工业化实施的新技术。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 氧化 纳米 颗粒 制备 方法 | ||
【主权项】：
1.一种二氧化钒纳米颗粒膜的制备方法，其特征在于，该工艺方法包括下述步骤：1)以金属钒靶作为溅射源，在氩气条件下在洁净衬底上溅射100～300nm厚的金属钒膜，衬底温度保持在200℃；2)将一端敞口的管式退火炉进行升温，到500～570℃范围时进行保温，从炉管的非敞口端通入氮气，氮气流量保持在2L/min；3)将制备的金属钒膜放入石英坩埚中，之后将坩埚推入上述管式退火炉中进行退火，退火时间为5～10min，将坩埚拉出在空气下冷却，得到二氧化钒纳米颗粒膜。
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